阵列式生医感测器之应用与设计感测器之设计及制作.PDF

第三章 陣列式生醫感測器之應用與設計感測器之設計及製作 3.1感測器的設計 一般來說，在考慮以QCM做成陣列式生醫感測器必須從兩個大 方向來考慮及設計其結構；流體夾帶之漏電流對陣列感測器之影響以 及在同一陣列平面感測器的耦合效應。對於第一項可以利用非等時之 測量方式來減小其影響，一般大多是利用電路設計之方式來加以改 善。本文不討論其電路之設計理念，將重點放在第二項，嘗試由半導 體製程來改善感測器結構的耦合效應，並且能同時增加感測器的感測 頻率及穩定度，以期找出適合 QCM陣列式生醫感測器之結構以及製 程。 3.1.1單一感測器設計 對單一感測器而言，無非是希望其具有高感測頻率、高感測靈敏 度以及高穩定度的特色。若要增加單一感測器的頻率以及靈敏度，結 構方面我們可由a.減小感測器厚度以及 b.縮小感測面積的方式來達成 目的。而要增加穩定度，通常是由 c.減小感測面積之表面粗糙度以及 d.集中震動能量兩個方式著手。當中的b項可以利用改變光罩設計的 大小輕易達到，而a 、c 兩項則可以利用蝕刻方式達成，其關鍵在於蝕 刻條件參數的熟悉；而d項，則需要從結構設計來考慮。 26 由 Sauerbrey Equation式可知，若是在理想的液相檢測狀態下，當 檢測濃度相同時（ρ μ為一固定數），其靈敏度可以藉由提升震盪 q q 基頻（f xxiii o ）以及縮小吸附面積（A ）來達成 。 圖 3-1靈敏度與感測頻率關係圖： 由圖可知，當感測器的基頻越高，其靈敏度越高。 依石英的基頻理論公式 fo ＝υtr/2t q ＝（ρq1/2/μq1/2 ）/2t q 其中f 為震盪器的基頻，t 為石英的厚度，ρ 、μ是石英的密度 o q q q 與剪切模數，而υ 4 -4 則是聲波的橫向傳播速率（ 3.34×10 ms ）。本研 tr 究使用的石英厚度為 200 μm ，依理論計算得到其基頻約為8.35 MHz ；若是利用蝕刻方式減小厚度10 、20 以及50 μm ，預計其基頻會 27 提高至 8.79 MHz 、9.27 MHz 以及10.13 MHz 。 當震盪器的尺寸縮小時，會引起主要 TS模式和其他模式的耦合 效應。因此，在縮小震盪器的同時，應該設計成避免或是減小耦合的 結構。從文獻中可知，若是將感測器結構設計成台地，或雙台地結構 可以使感測器的震動能量集中在電極位置。如果震動平面的寬度是在 TF模式的波長整數倍附近，邊界對頻 率耦合和能量侷限的邊界會引 起 QCM之間頻率的強耦合效應。 圖 3-2單一感測器之結構設計： xxiv （a）雙台地結構；（b）單面台地結構 28 如果使用台地結構，電極的寬度可以被設計的更小。當台地結