第五章 高分辨(相位)衬度的起源与理论.pdf

北京大学 物理学院 研究生教材――俞大鹏 2004. 9 第五章 相位衬度的起源与理论-高分辨理论 高分辨研究简史 关于高分辨透射电子显微镜的基本成像理论，Boersch 早在 1946 年在研究电子与 原子的相互作用时就提出，固体中的原子会对在其中传播的电子束进行调制，改变电 子波的相位。他认为，利用电子波的相位变化，有可能观察到单个原子，可以用来分 析固体中原子的排列方式。这一理论实际上成为现代实验高分辨电子显微分析方法的理 论依据；1947 年，德国科学家Scherzer 提出，磁透镜的离焦（defocus ，即所谓的Scherzer 最佳欠焦量，而非通常的高斯正焦）能够补偿因透镜缺陷（球差）引起的相位差，从而 可显著提高电子显微镜的空间分辨率。 高分辨试验方面的最初结果首先是由Menter 在1956 年做出的。在20 世纪50 年代， 由于透射电镜的线分辨率只有 1.2 纳米，点分辨率更差，大大限制了这一时期高分辨 电子显微技术的应用。直到1970 年代，透射电镜点分辨率已达到几个埃的水平，对高 分辨电子显微学的应用创造了良好的物质基础。 1957 年，美国Arizona 洲立大学物理系的Cowley 教授等利用物理光学方法来研究 电子束与固体的相互作用，并用所谓“多层法”计算相位衬度随样品厚度、离焦量的变 化，从而定量地解释所观察到的相位衬度像，即所谓高分辨像，从而建立和完善了高分 辨电子显微学的物理基础。1971 年，Cowley、Iijima 等人首次获得了可直接解释的氧化 物晶体的高分辨电镜像，证实了他们所看到的高分辨像与晶体结构之间具有对应关系， 实际上是晶体结构沿着特定方向上的二维投影。这一时期高分辨电子显微像的分辨率已 优于4 埃。 Cowley 、Iijima 的工作开创了一个应用高分辨电子显微学的新时代，从此 高分辨电子显微术开始被广泛地利用与多种领域，成为现代物理、化学、材料科学、矿 物学、生物学等多种学科研究的常用技术。 在这一章节中，先介绍要一下有关高分辨电子显微学的一些基本理论和概念。 之后，讨论一下高分辨电子显微术的图像模拟方法，以及主要应用对象，并简单 介绍一下近年来高分辨电子显微学的一些新进展，如球差矫正（Cs corrector ）， 以及出射波重构（exit wave reconstruction ）等新技术。 1 北京大学 物理学院 研究生教材――俞大鹏 2004. 9 一、相位衬度 (phase contrast): 干涉条纹 fringes 1. 透射电镜成像原理 高分辨电子显微镜的成像机制是所谓的相位衬度(phase contrast) ，即假设穿过样品后，电子束的强度基本不发生变化，仅仅 是电子的相位受到周期晶体势场的调制而改变，从而使得出射电子束 携带了晶体的结构细节信息。高分辨透射电镜的成像过程是一个利用 透射束与许多衍射束之间相互干涉后形成点阵条纹像的过程。因此， 高分辨成像理论，或相位衬度理论是一个多束成像理论。在特定条件 下，点阵条纹像（高分辨像，HRTEM ）与晶体结构存在一一对应的 关系，此时才能称为高分辨结构像。 1、 Abbe 成像原理 尽管电子显微镜已经成为重要的现代分析手段，其电子光学成像 原理可以用物理光学的Abbe 成像原理进行说明。过去，人们在讨论 透镜成像时，仅局限于样品的物点与像点之间的对应关系。一百多年 前的1873 年，Ernst Abbe （阿贝）在研究如何提高显微镜的分辨率时， 提出了一个相干成像的新理论。阿贝从物体空间频率信息的分解与合 成的角度，研究了透镜的成像过程。具体方法是，把一束单色平行光 照射到平面物体ABC 上，使整个系统成为相干成像系统。单色光波 通过透镜后发生Fraunhofer 衍射，透射波中蕴含了样品的空间频率信 2 北京大学 物理学院 研究生教材――俞大鹏 2004. 9 息，在透镜后焦面上按不同的空间频率形成一系列衍射斑点，即形成 物的衍射花样。透镜后焦面上所有点作为新的次级波源发出相干的球 面子波，在像平面上相干叠加，给出放大的物体的像。这种基于波动 光学原理的二步成像理论，后来被称为Abbe 成像理论，它完全适用 于高分辨电子显微镜的成像过