评估TiN薄膜与基材结合的划痕试验及有限元模拟摩擦学学报.PDFVIP

第 29 卷 　第 6 期 摩 擦 学 学 报 Vol. 29　No. 6 2009 年 11 月 Tribo logy Nov. , 2009 评估 T iN薄膜与基材结合的划痕试验 及有限元模拟 杨洪刚 ,李 　曙 ,段德莉 (中国科学院 金属研究所 ,辽宁 沈阳　110016) 摘 　要 : 通过有限元模型模拟划痕试验得到的结果表明 ∶切应力的起伏变化 、膜 /基界面处切应力差值 、接触区附 近膜层表面张应力 、高载下的几种应力集中等 ,对膜 /基体系的失效都有重要的作用. 通过模型计算临界载荷下的 膜 /基界面处切应力差值 ,可用来评价膜层与基材的结合强度 ;提出了划痕试验中膜 /基体系失效的 2 种机制. 不同 性能基材的 TiN 膜 /基体系划痕试验结果 ,可验证本文有限元模拟的有效性 ,并表明临界载荷是膜 /基结合强度 、体 系承载能力 、内聚结合性能等的综合反映 ;低载往复摩擦磨损试验的结果进一步证实 ,用划痕试验的临界载荷评估 膜 /基结合强度具有局限性. 关键词 : 划痕试验 ;膜 /基结合 ;有限元模拟 ;应力分布 ;临界载荷 中图分类号 : TH 117. 3 文献标识码 : A 文章编号 : 1004 - 0595 (2009) 06 - 0592 - 08 　　离子镀 TiN 硬质膜近年来广泛用于提高刀具或 程进行模拟分析. 采用中心对称建模 , 以 8 节点、多 零件的耐磨性 [ 1 - 2 ] . 薄膜与基材的结合强度直接影 线性 、各向同性的块体单元划分体网格 ,对中心接触 响其摩擦学应用 ,划痕试验是常用于检测膜 /基结合 区和膜 /基结合区进行细化处理 ; 采用 CON TA 174 性能的方法 [ 3 - 6 ] ,一般以临界载荷判断其结合强度. 和 TAR GE 170 单元定义三维面 - 面接触对 ; 由不同 显然 ,在划痕试验中 ,膜 /基结合的破坏必然造成膜 / 性能的材料复合组成膜 /基体系 ,膜层设为厚度为 μ 基体系的失效 ,然而 ,在临界载荷下的膜层破坏并非 34 m 的完全弹性体 ,基材为半无限大的弹塑性 仅取决于膜 /基体系失效. 划痕试验过程中 ,薄膜与 体 ;膜 /基界面设定为理想结合 , 即在界面处膜层与 μ 基材在力学性能上的差异使其在表面承载下具有特 基材变形时的位移量相同;划针端部为半径 200 m ( 殊的应力分布 ,而划针压入产生的膜 /基体系变形和 的刚性球冠 ,在膜 /基体系表面单次滑动 ; 载荷 法 ) 应力集中 ,载荷变动 、触点滑动 、接触面下移引起的 向力 和水平位移均随时间线性增加 ,法向载荷初 应力状态及其动态变化等 ,对膜层的破坏均有重要 始为 5 N