用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ３ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ３ Ｍａｒ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０３０５２００９ 　 用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜 １ ２ １ １ 王孝坤 ，王丽辉 ，邓伟杰 ，郑立功 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 １． 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 １３００３３； ２．中国移动通信集团吉林有限公司 长春分公司，吉林 长春 １３００３３） 摘要：研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法，以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。 分析和研究了该技术的基本原理，并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型；分 别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件；设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置，并分别利 用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为 ３５０ｍｍ的双曲面的检测。对待测非球面进行了零位补偿检测 实验，结果显示，圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的 值和 值的偏差分别为 和 ；环形子孔 ＰＶ ＲＭＳ ０．０３１ ０．００４ λ λ 径拼接与全口径补偿测量结果的 值和 值的偏差分别为 和 ；种方法测量所得的面形分布都是 ＰＶ ＲＭＳ ０．０２８ ０．００６ ３ λ λ 一致的。所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段。 关 键 词：光学检测；圆形子孔径拼接干涉；环形子孔径拼接干涉；大口径非球面；最小二乘拟合 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＱ１７１．６５ＴＨ７０３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０５２０ 　　 　　 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犾犪狉犲犪狊犺犲狉犻犮犿犻狉狉狅狉狊犫 狀狅狀狀狌犾犾狋犲狊狋犻狀 犵 狆 狔 犵 １ ２ １ １ ， ，