主动式减低电磁场干扰系统-国家试验研究院.DOCVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 招標規範書 說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室之採購案。若本招標規格書有任何疑慮依業主解釋為準。 採購標的數量及規範 採購數量：，Nova 600i），減低電磁場干擾系統內容須符合或優於下列規範： 1座，內容至少包含： 。 1組。 聚焦離子束（FEI Nova 600i）專用主動式減低電磁場干擾系統1座，內容至少包含： 。 1組。 減低電磁場干擾系統效能須符合或優於下列規範： 電磁場必須符合機台安裝環境電磁場規格要求。 本需符合潔淨室100級之運轉規範。 減低電磁場干擾系統的1 /f雜訊極限低於0.1赫茲2μG (0.2 nT) pk-pk。 減低電磁場干擾系統寬頻雜訊極限1uG (100pT) RMS 5赫茲-20000赫茲。 測量頻寬為DC-10000赫茲。 測量結果輸出值單位可選擇mG RMS 或 mG pk-pk 或 uT RMS或 uT pk-pk 或 nT RMS 或 nT pk-pk 等。 讀值在 ± 10μG (1nT))準確度為± 1.0 %。 針對外部磁場變化之反應時間須在100 us 以內。 聚焦離子束（FEI Nova 600i）專用主動式減低電磁場干擾系統規格如下: 減低電磁場干擾系統工作動態範圍為(X Y-axis) 為60 mG (6 μT ) pk-pk, Z- axis 為45 mG (4.5μT) pk-pk,在50/60赫茲基頻時可將外部磁場干擾值改善至 0.5mG 。 減低電磁場干擾系統工作範圍為5赫茲-5000赫茲的頻寬範圍。 減低電磁場干擾系統的1 /f雜訊極限低於0.1赫茲100μG (10 nT) pk-pk 。 減低電磁場干擾系統寬頻雜訊極限1uG (100pT) RMS 5赫茲-20000赫茲。 測量頻寬為5赫茲-20000赫茲。 測量結果輸出值單位可選擇mG RMS 或 mG pk-pk 或 uT RMS或 uT pk-pk 或 nT RMS 或 nT pk-pk 等。 讀值在 ± 10μG (1nT))準確度為± 1.0 %。 針對外部磁場變化之反應時間須在100 us 以內。 其他 得標廠商須於決標後2週內提供安裝環境檢測報告資料。 審查 具有與本案招標標的類似之製造、供應或承做證明文件（如：訂購單、合約書或驗收等證明文件）。 請投標廠商提供規格型錄或圖說，並依順序標示或註記清楚，以利於業主進行規格審查，所有文件得以中文或英文標示(型錄得依原廠提供)。 履約期限 得標廠商須於年1月日前完成交貨至本實驗室指定地點， 逾期罰款：每逾一日按契約金額總價千分之一罰款，上限為契約金額百分之十，但逾期罰款逾契約金額百分之五時，本實驗室得解除合約。 驗收 此需能符合如下驗收規格： 此需能符合本實驗室之工安規範。 此之各設施皆應由得標廠商負責安裝。 設備出廠須檢附有出廠日期之出廠證明文件。 依照第貳項採購標的數量及實際驗收並檢附驗收報告。 保固 本採購案自驗收合格日起保固年，並檢附保固證明文件（即後續維修保固證明書）。 設備及相關服務需符合規範要求，在保固期間內，因設計、零件或材料不良所引起之故障或運轉不良，得標廠商需免費負責修理與更換新品。 保固期間在一般工作日接獲本實驗室書面或電話通知，得標廠商需於24小時內確認狀況，並且於2個工作天內前來現場處理。非上班時間內，得標廠商應於48小時內確認狀況，並且於確認狀況後的2個工作天內前來現場處理。 在保固期間內得標廠商不得據以要求增加額外服務費用（含工資、交通費等）。 保固期限內，本實驗室得要求得標廠商免費提供操作軟體升級。 為避免廠商設備無法驗收，廠商投標前可申請至現場，並充份了解後再進行投標。 投標廠商對本規範書有任何問題，請於招標釋疑期限內向本實驗室微影與光罩製作組先生聯絡，電話：03-5726100分機76。 國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 號：209 頁 數 PAGE: 4 OF 5 購案名稱： 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用