三自由度纳米磨削微定位平台的运动学特性.pdfVIP

·780· 天 津 大 学 学 报 第39卷第7期 ，一堑止兰咝±垒堡 Z 1 ‘0— 2 ．吼 n = O sin以=塾』掣 (10) —．．．．．．．．．，．．．。．．．．．．．．．．．L ．吼 n。以够1●●●●●●J —．．．．．．．．．，．．．．．．．．．．．．．．L O 』地兰：兰叫q6’ s㈣，2譬 4实例分析 根据三自由度微定位平台结构设计图纸和压电陶 瓷驱动器的产品参数手册，可得微定位平台压电陶瓷 驱动器所在圆周半径r为60mm，压电陶瓷驱动器的 最大伸长量z吲i(i=1，2，3)为12斗m． 睁眩参强弘， 三自由度微定位平台的可达姿态空间如图5所 示．由图可知，受到3个压电陶瓷驱动器伸缩量的限制 作用，动平台位于不同位置时微定位平台所能实现的 最大和最小章动角随迸动角的不同而变化，具体表现 为z向位移两端小而中问大且关于z向位移中心对 称．据此可知，为使微定位平台具有尽量大的姿态调整 日坛一蜘m，能力，则其工作位置要尽量靠近彳向行程的中间． 名s1+名s2+Zs3 zo2——广 sin盼型等鱼 (13) sin巳2警 (a)姿态空间 睁噱壶一Ⅻ弘4， 一； 一i][i三] c·5， [i兰]=÷[一i (b)等值线 图5微定位平台的姿态空间与等值线 o—entation isoUn器oftIle ng．5 spa∞and tabIe Inicropositioning 动平台位于不同的位置时，章动角随进动角的变 化规律如图6所示．由图可知，当动平台的位置越接近 于行程的端点时，姿态调整能力越差．动平台的位置在 中间时，微定位平台实现姿态的能力最大可达 2006年7月 田延岭等：三自由度纳米磨削微定位平台的运动学特性 ·781· La