第15章 微机电系统.pdf

微细加工与微细加工与MEMSMEMS技术技术 第十五章第十五章第十五章第十五章 微机电系统微机电系统微机电系统微机电系统 微固学院 邓小川 xcdeng@g@uestc.edu.cn 电子科技大学 目 录 本章主要内容本章主要内容：：  MEMSMEMS 的加工工艺技术的加工工艺技术  MEMSMEMS器件的特点与应用器件的特点与应用 本章知识要点本章知识要点：：  掌握体微机械加工工艺流程掌握体微机械加工工艺流程  掌握表面微机械加工工艺流程 掌握表面微机械加工工艺流程 Page 2 电子科技大学 1515.11 引言引言 Page 3 电子科技大学 15.1 引 言 Micro Electro Mechanical Systems Nano Electro Mechanical Systems But what does this mean???? MEMSMEMS 的内涵的内涵 • “微”——尺度效应的作用 • “机电”——拓展向更多物理量的融合 • “系统系统”——水平水平、、实际应用现状实际应用现状 Page 4 电子科技大学 15.1 引 言  MEMS （Microelectron mechanical System ）技术 利用集成电路制造工艺中的加工方法，可以在硅材 料上制作极其微小的机械装置。这些机械装置主要可分 为传感器和执行器两大类为传感器和执行器两大类。。如果将它们与集成电路做在如果将它们与集成电路做在 一起，就可制成包括传感器、控制器和执行器在内的微 型智能电子机械系统。 MEMS——机/ 电/磁/光/声/热/液/气/生/化等多学科交叉 Page 5 电子科技大学 15.1 引 言 硅基微型机构的优点： 机械的小型化和轻量化机械的小型化和轻量化 节约材料和能源；惯性小，因而灵敏度高、频率高；热容量小等等。 在医疗与军事等领域有巨大的应用前景。 高效的加工和装配 采用集成电路制造工艺中的加工方法，可以大批量生产，且均匀性 重复性好。 与IC 制造相兼容 可以很方便地与控制电路集成在一起，形成微型的智能化机械系统。  单晶硅有良好的机械性能 单晶硅的弹性系数与破坏应力大体和钢接近，不产生塑性形变，直 到被破坏为止都有弹性。唯一的缺点是比较脆。 Page 6 电子科技大学 15.1 引 言 MEMSM