阴极还原和酸处理对多孔硅稳定性和发光特性的改善-发光学报.pdfVIP

第３３卷　第２期 发　光　学　报 Ｖｏｌ３３ Ｎｏ２ ２０１２年２月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ｆｅｂ．，２０１２ 文章编号：１０００７０３２（２０１２）０２０１４６０４ 阴极还原和酸处理对多孔硅稳定性和发光特性的改善 １ １ １ ２ 元美玲 ，唐　鹿 ，吴真琦 ，汪庆年 （１．南昌大学 物理系，江西 南昌　３３００４７；　２．南昌大学 信息工程学院，江西 南昌　３３００２９） 摘要：采用两种简单的多孔硅后处理方法，即阴极还原和酸处理来提高多孔硅的发光特性。结果表明，对多 孔硅进行阴极还原处理，能明显改善多孔硅的稳定性；对多孔硅进行酸处理，能有效提高多孔硅的发光强度。 结合阴极还原和酸处理两实验技术的特点，对所制备的多孔硅先进行阴极还原处理，再进行酸处理，结果表 明该方法能较好地提高多孔硅的发光效率和发光稳定性。 关　键　词：多孔硅；酸处理；阴极还原处理 中图分类号：Ｏ４３３．１　　　文献标识码：Ａ　　　ＤＯＩ：１０．３７８８／ｆｇｘ０１４６ ＥｆｆｅｃｔｓｏｆＡｃｉｄＴｒｅａｔｍｅｎｔａｎｄＣａｔｈｏｄｅＲｅｄｕｃｔｉｏｎｏｎＴｈｅ ＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅａｎｄＳｔａｂｉｌｉｔｙｏｆＰｏｒｏｕｓＳｉｌｉｃｏｎ １ １ １ ２ ＹＵＡＮＭｅｉｌｉｎｇ，ＴＡＮＧＬｕ ，ＷＵＺｈｅｎｑｉ，ＷＡＮＧＱｉｎｇｎｉａｎ （１．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＮａｎｃｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｃｈａｎｇ３３００４７，Ｃｈｉｎａ； ２．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｃｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｃｈａｎｇ３３００２９，Ｃｈｉｎａ） ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｄｗｃａｔｌ＠１６３．ｃｏｍ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｗｏｓｉｍｐｌｅｍｅｔｈｏｄｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇａｃｉｄｔｒｅａｔｍｅｎｔａｎｄｃａｔｈｏｄｅｒｅｄｕｃｔｉｏｎｔｒｅａｔｍｅｎｔ，ａｒｅｅｍ ｐｌｏｙｅｄｔｏｔｒｅａｔｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｍａｔｅｒｉａｌｆｏｒｉｍｐｒｏｖｉｎｇｔｈｅｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｍａ ｔｅｒｉａｌａｎｄｏｂｔａｉｎｉｎｇｇｏｏｄｒｅｓｕｌｔｓ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｃａｔｈｏｄｅｒｅｄｕｃｔｉｏｎｃａｎｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔｌｙｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎａｎｄａｃｉｄｔｒｅａｔｍｅｎｔｃａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｌｕｍｉｎｏｕｓｉｎｔｅｎｓｉｔｙ． Ｗｈｅｎｂｏｔｈｏｆｔｈｅｓｅｔｗｏｍｅｔｈｏｄｓａｒｅａｄｏｐｔｅｄ，ｃａｔｈｏｄｅｒｅｄｕｃｔｉｏｎｐｒｉｏｒｔｏａｃｉｄｔｒｅａｔｍｅｎｔｃａｎｏｂｔａｉｎａ ｂｅｔｔｅｒｒｅｓｕｌｔｔｈａｎｏｐｐｏｓｉｔｅｐｒｏｃｅｓｓ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎ；ａｃｉｄｔｒｅａｔｍｅｎｔ；ｃａｔｈｏｄｅｒｅｄｕｃｔｉｏｎｔｒｅａｔｍｅｎｔ 见光区的强光致发光现象以来，在世界范围内掀 １　引　　言 起了多孔硅的研究热潮。多孔硅在室温下的光致 由于半导体硅丰富的资源和在微电子学领域 发光（ＰＬ）特性使其在硅基光电子材料领域有很 成熟的硅平面工艺技术，实现硅基光电集成是人