半导体学报CHN S.pdfVIP

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2017-10-18 发布于河北
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半导体学报CHN S.pdf

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第卷第期半导体学报 26 2 Vol.26 No.2 年月 , 2005 2 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORS Feb.2005 用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度* 沈伟东刘旭朱勇邹桐叶辉顾培夫 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州 ) 310027 摘要:介绍了一种简单而准确地确定薄膜光学常数和厚度的方法借助于物理模型,用改进的单 . Forouhi-Bloomer 纯形法拟合分光光度计透过率测试曲线,获得半导体薄膜的光学常数和厚度对射频磁控溅射和直流反应溅射制 . 备的玻璃基板上的和薄膜进行了实验,拟合的理论曲线和实验曲线吻合得非常好计算得到的结果与文 -Si ZnO . 献报道的结果和台阶仪的测量结果一致,误差小于该方法对无定形或多晶的半导体薄膜都适用,也可以用于 4%. 计算厚度较薄的薄膜. 关键词:薄膜材料;光学常数;透过率曲线; 模型;单纯形法 Forouhi-Bloomer : ; ; PACC 7360F 7865 6860 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) O484.5 A 0253-4177200502-0335-06 因此由单一透过率曲线确定薄膜的光学常数和厚 [ ] 3 7 1 引言度,引起了人们极大的研究兴趣 . 本文借助色散模型,利用改 Forouc