沉积条件对低温各向同性热解炭形貌的影响-中南大学学报.pdf

第 47 卷第 7 期 中南大学学报( 自然科学版) Vol.47 No.7 2016 年 7 月 Journal of Central South University (Science and Technology) July 2016 DOI: 10.11817/j.issn.1672-7207.2016.07.006 沉积条件对低温各向同性热解炭形貌的影响 1 1 2 2 张建辉 ，夏文莉 ，王根明 ，郭鹏海 (1. 杭州电子科技大学 机械工程学院，浙江 杭州，310018； 2. 兰州兰飞医疗器械有限公司，甘肃 兰州，730070) 摘要：研究沉积温度和丙烷气体体积分数对低温各向同性热解炭(LTIC)形貌的影响，并用成核−生长理论解释材料 形貌的成因。该热解炭材料由不同体积分数的丙烷通过准稳态流化床化学气相沉积法(FBCVD)在 1 250~1 450 ℃ 的沉积温度下得到。研究结果表明：随着沉积温度或丙烷气体体积分数的升高，各向同性热解炭的类球形颗粒状 形貌越来越明显，且密度降低，沉积过程由生长模式向成核模式过渡。沉积模式随沉积条件的改变会决定热解炭 形貌的改变，而这些变化与气相中形成的线性分子和小分子芳烃与稠环芳香烃(PAHS) 的比以及液滴的黏度改变 有关。 关键词：化学气相沉积；低温各向同性热解炭；沉积条件；形貌；沉积机理 中图分类号：TB332 文献标志码：A 文章编号：1672−7207(2016)07−2221−06 Effect of deposition conditions on morphology of low temperature isotropic pyrocarbon 1 1 2 2 ZHANG Jianhui , XIA Wenli , WANG Genming , GUO Penghai (1. School of Mechanical Engineering, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China; 2. Lanzhou Lanfei Medical Instrument Limited Company, Lanzhou 730070, China) Abstract: The effects of deposition temperature and propane volume fraction on the morphology of low temperature isotropic pyrocarbon (LTIC) were investigated and the morphology of deposits was accounted by the principle of nuclei−growth. The pyrocarbon was prepared by a quasi-steady-state fluidized bed chemical vapor deposition (FBCVD) with the deposition tempe