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超净空气环境建造技术探讨 苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司 演讲人：石小雷 1 摘摘要要 摘要摘要 ：对对ISOISO11级超净室建造的要点进行分析级超净室建造的要点进行分析 ，阐述了设计阐述了设计 建造的重点建造的重点、难点和解决方案难点和解决方案 ，并通过项目的实际运行得并通过项目的实际运行得 以验证以验证。 关键词关键词 ：：ISO1ISO1级级 ；；二次吊挂系统二次吊挂系统 ；；洁净管控洁净管控 2 1.引言 当前，晶圆片尺寸从12吋向18吋迈进、产品线宽向10nm发展，平 板显示器基板从8.5代线向10代线发展，生产环境核心区的洁净度等级应 达到达到ISOISO 22级级/ISO/ISO 33.55级才能满足生产受控环境要求级才能满足生产受控环境要求 ，同时净化生产环境同时净化生产环境 中的化学污染物（硫化物、氮化物、氨等）受控。鉴于目前国内高级别超 净环境核心部分大都由国外单位设计和建造，中国电子领衔的科技团队， 进行科技创新和系统集成，研制成功“天加”ISO 1级超净环境集成系统。 您是如何理解洁净的呢您是如何理解洁净的呢？？ 3 1.引言 2014年11月20日南京天加空调设备有限公司邀请国内专家团 队对“天加”队对“天加”ISO1ISO1级超净环境集成系统进行评定级超净环境集成系统进行评定 ，该系统具有如该系统具有如 下性能和特点： 1）“天加”ISO1级超净环境集成系统，净化面积 170m2，其中核心区25m2 ；采用芯片厂、液晶显示器 170m2 其中核心区25m2 ；采用芯片厂 液晶显示器 厂经典的空气净化系统；MAU（新风机组）加FFU（风 机过滤机组）加机过滤机组）加DCDC（干表冷）（干表冷），同时首次在系统中增加同时首次在系统中增加 控制空气分子污染功能； 4 1.引言 2）该系统设备制造、工程设计、工程建造、系统调试和检测均由国内公司完2）该系统设备制造、工程设计、工程建造、系统调试和检测均由国内公司完 成，成， “中国制造“中国制造”在该系统中通过了严格的运转考核；”在该系统中通过了严格的运转考核； 3）检测委托第三方检测机构，该机构3）检测委托第三方检测机构，该机构通过CNAS和CMA资格认证通过CNAS和CMA资格认证。使用PMS。使用PMS LASAIRII110LASAIRII110LASAIRLASAIRIIII110110粒子计数器粒子计数器粒子计数器粒子计数器 ，，按照国际标准按照国际标准按照国际标准按照国际标准ISO14644ISO14644ISO14644ISO14644--3333 ：：：：2005(GB/T2591532005(GB/T2591532005(GB/T259152005(GB/T25915..33-- 2010等同采用）对核心区的超净空气环境按不同要求进行检测，经两次检测数2010等同采用）对核心区的超净空气环境按不同要求进行检测，经两次检测数 据比对，达到国际标准ISO1级，洁净室洁净度检测数据可靠、有效。据比对，达到国际标准ISO1级，洁净室洁净度检测数据可靠、有效。 5 1.引言 4）对系统进行空气分子污染控制性能考核。首次完成我国超净环境空气分子4）对系统进行空气分子污染控制性能考核。首次完成我国超净环境空气分子 污染控制性能评价曲线图，显示了新风机组配置的化学过滤器和FFU配置的化污染控制性能评价曲线图，显示了新风机组配置的化学过滤器和FFU配置的化 学滤网效果明显，该系统可以捕集到周边环境“非控制型排放”信息。学滤网效果明显，该系统可以捕集到周边环境“非控制