基体材料对犜犻荦薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２６ １ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ ２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｆｅｂｒｕａｒ ２０１３ ｙ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１３．０１．００５ ｊ 基体材料对犜犻犖薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响 ， １２ ２ １ ２ ２ 龚 才 ，代明江 ，陈明安 ，韦春贝 ，侯惠君 　 （ 中南大学 材料科学与工程学院，长沙 ； 广东省工业技术研究院（广州有色金属研究院）新材料 １． ４１００８３ ２． 研究所，广州 ５１０６５１） 摘 要：采用真空阴极电弧离子镀技术分别在 （ ）模具钢、 （ ）不锈钢、 硬 ４Ｃｒ５ＭｏＳｉＶ１Ｈ１３ Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ３０４ ＹＧ６ 　 质合金、 （ ）钛合金 种基体表面沉积 薄膜。利用扫描电镜（ ）对薄膜表面液滴进行观察 Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ ＴＣ４ ４ ＴｉＮ ＳＥＭ 分析，通过划痕仪对薄膜的膜／基结合力进行表征。结果表明：基体材料不同， 薄膜上液滴的密度、尺寸 ＴｉＮ 存在明显的区别。其中，镀膜后 钢和 不锈钢表面的液滴数量最多， 硬质合金次之， 钛合金 Ｈ１３ ３０４ ＹＧ６ ＴＣ４ 最少；薄膜的膜／基结合强度依次为 硬质合金 钢 不锈钢 钛合金。 ＹＧ６ Ｈ１３ ３０４ ＴＣ４ ＞ ＞ ＞ 关键词：真空阴极电弧离子镀； 薄膜；液滴；膜／基结合力 ＴｉＮ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ Ｏ４８４．４ Ａ １００７９２８９２０１３０１００２７０７ 　　 　　 犈犳犳犲犮狋狊狅犳犇犻犳犳犲狉犲狀狋犛狌犫狊狋狉犪狋犲狊狅狀狋犺犲犇狉狅犾犲狋狊犪狀犱犃犱犺犲狊犻狅狀犛狋狉犲狀狋犺狅犳犜犻犖犉犻犾犿狊 狆 犵 ， １２ ２ １ ２ ２ ， ， ， ， ＧＯＮＧＣａｉ ＤＡＩＭｉｎ ｉａｎ ＣＨＥＮＭｉｎ ａｎ ＷＥＩＣ