应力对压电陶瓷驱动器位移性能的影响-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 文章编号 一 一 一 应 力对压 电陶瓷驱动器位移性 能 的影 响 陈大 任 , 张望 重 , 朱梅 根 中 国科 学院 上 海 硅 酸 盐 研 究所 无 机 功 能材 料 开 放 实验 室 , 土 海 在 型 陶 立 器组装成 圆环 器 , 现 摘 要 研制 由钨青铜 压 电 瓷分 驱动 特种 状压 电驱动 中 发 组装 , 后横 向位移模 圆环 驱动器 的位移量呈现异常 的变化 它 的位移量 比分立器件 的增加可达 、 对组成 、 器 了 量 , 认 , 立器 在组 后处于 重 的压 , 它 件制备等进行 大 实验 分析 为 分 件 装 严 应力 中 对逆压 电效应 的影 响是上述结果 的原 因 它 的主要机制是在压应力下通过 畴重新取 向或钨 铜 构 基 组元 氧八面 的畸 发极 偏 于 压应 方 , 一旦施 则 青 结 中 本 一 体 变使 自 化 离 原 力 向 加 电场 造 成位移量 的大大增 加 关 键 词 压 电陶瓷 钨青铜 结构 圆环状压 电驱动器 逆压 电效应 应 力 中图分类号 文献标识码 引言 压 电陶瓷微位移驱 动器 已是众 多精密光 学设 备 中的关键 核 心部件 中心 可 通过 光 束 的 圆环 型 压 电陶瓷驱 动器 可广泛 地 用 于 高精度光 学干 涉仪 , 用 作对 大 面 积 光 学 平面 的质 量检 测 和 加工 , 它 是近 代光 学 和 高新技术 的重 要 仪器 设备 整 体 式 压 电陶 瓷 圆环 结构 , 因其 组 、 成 工 艺 的不均 匀 , 无法保证 实现 高精度 的轴 向位 移 , 最 近 由三 个 分 立驱 动器 分别控 制而 组 成 的特种压 电陶瓷 圆环 驱动 器代 替, 它保证 了高精 度 的轴 向位 移 , 大 大 提 高 了对 光 学 平 面检测 或加工 的精度 , 提 高 了干 涉仪 的挡次 我 们 曾采 用 高稳定 的特种钨青铜 型 结构 以下称 为 结构 压 电陶瓷 设计 、 研 制 了 由 三 个分立 驱 动器 分别控 位而 组装横 向位 移模 利用 压 电系数