硅微型机械振动陀螺仪的计算机辅助设计-东南大学学报.PDF

第３４卷第２期 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３４ Ｎｏ２ 　 ２００４年３月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｍａｒ．２００４ 　　　　　　 硅微型机械振动陀螺仪的计算机辅助设计 施　芹　 王寿荣　 周百令　 裘安萍 （东南大学仪器科学与工程系，南京２１００９６） 摘要：建立了硅微型机械振动陀螺仪的优化模型，确定其结构参数的目标函数和约束条件，采用优 化方法对结构参数进行优化计算．以ＡｕｔｏＣＡＤ为支撑软件，采用ＡｃｔｉｖｅＸＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ技术对 ＡｕｔｏＣＡＤ进行二次开发，建立了硅微型机械振动陀螺仪的计算机辅助设计系统（ＧＹＲＯＣＡＤ）．该系 统可以根据陀螺仪的性能指标等确定陀螺仪的最优结构参数，设计实例表明，由该系统设计的硅微 型机械振动陀螺仪的灵敏度得到了明显的提高． 关键词：硅微型机械振动陀螺仪；计算机辅助设计；优化方法；ＡｃｔｉｖｅＸＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ ＋ 中图分类号：ＴＨ８２４．３；ＴＰ３９１７２　 文献标识码：Ａ　 文章编号：１００１－０５０５（２００４）０２０２４００４ Ｃｏｍｐｕｔｅｒａｉｄｅｄｄｅｓｉｇｎｏｆｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｖｉｂｒａｔｏｒｙｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ＳｈｉＱｉｎ　ＷａｎｇＳｈｏｕｒｏｎｇ　ＺｈｏｕＢａｉｌｉｎｇ　ＱｉｕＡｎｐｉｎｇ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚｅｄｍｏｄｅｌｏｆｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｖｉｂｒａｔｏｒｙｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓｉｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ，ｗｈｉｃｈ ｃｏｎｆｉｒｍｓｔｈｅｔａｒｇｅｔｆｕｎｃｔｉｏｎａｎｄｔｈｅｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎｏｆｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ，ａｎｄｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓａｒｅｏｐｔｉｍｉｚｅｄｗｉｔｈｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｄｅｓｉｇｎ．Ａｃｏｍｐｕｔｅｒａｉｄｅｄｄｅｓｉｇｎｓｙｓｔｅｍｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｖｉｂｒａｔｏｒｙｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ（ＧＹＲＯＣＡＤ）ｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄｂｙｍｅａｎｓｏｆＡｕｔｏＣＡＤｓｏｆｔｗａｒｅ ａｎｄＡｃｔｉｖｅＸＡｕｔｏｍａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚｅｄｐａｒａｍｅｔｅｒｓｃａｎｂｅｄｅｃｉｄｅｄａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｇｙｒｏｓｃｏｐｅ，ａｎｄｔｈｅｅｘａｍｐｌｅｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈｅｄｅｓｉｇｎｒｅｓｕｌｔｏｆＧＹＲＯＣＡＤｉｓｂｅｔｔｅｒｔｈａｎ ｏｒｉｇｉｎａｌｄｅｓｉｇｎ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ；ｃｏｍｐｕｔｅｒａｉｄｅｄｄｅｓｉｇｎ；ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｄｅｓｉｇｎ；ＡｃｔｉｖｅＸ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ 　　计算机辅助设计（ＣＡＤ）是科学研究和产品开 １　系统设计 发中不可缺少的技术手段．微机电系统（ＭＥＭＳ）是 ２０世纪８０年代后期出现的新兴技术，其继续发展 １１　系统功能 和产业化离不开 ＣＡＤ技术支持［１～３］．作为 ＭＥＭＳ 　　硅微型机械振动陀螺仪计算机辅助设计 的重要组成部分之一的硅微型机械振动陀螺仪，由 （ＧＹＲＯＣＡＤ）可让设计者根据所要检测角速率的方 于其结构的复杂性以及其可观的应用前景，更需要 向，选择陀螺仪的结构形式．本软件提供了３种常见 ＣＡＤ技术的支持． 的结构形式，分别是检测ｘ（ｙ）方向角速率的振动轮式