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第二章 半导体材料基本性质 微电子学院 2.1半导体材料的分类及性质 根据物质的导电性质分为： 良导体电阻率为≤10-6Ω·cm ，金属一般为导体，如铜、铝、银等。 绝缘体电阻率为1010~1022Ω·cm，如橡胶、陶瓷、塑料等。在这类材料中，几乎没有自由电子，即使受外电场作用也不会形成电流 。 半导体电阻率为10-6~1010Ω·cm，如硅、锗、硒等。 半导体材料按结构分： 单质半导体12种，除Si、Ge、Se外，要制取高纯度较困难，Si应用最多，易提纯、含量丰富。 化合物半导体材料： Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体、氧化物半导体、多元化合物。 非常纯净的单晶半导体称为本征半导体。 硅本征载流子浓度：1.5*1010个/cm3 制作电子器件需求，在本征半导体硅（或锗）中掺入微量的5价元素，例如磷 、砷、锑等，制成N半导体，若掺入微量的3价元素，如硼、铝、镓等，制成P半导体。 （2）半导体材料的性质 （1）对热很敏感 高纯度本征硅室温下载流子浓度1010cm-3级，电阻率20万欧姆·cm以上；500℃，载流子浓度1017cm-3，电阻率百分之几欧姆·cm，温度变化20倍，电阻率变化百万倍以上。 图（P7） （2）电阻率温度系数是负的，dρ/dT＜0 金属： dρ/dT〉0 （3）光电效