第八章扫描电子显微分析.pptVIP

教案 第十一周, 3学时 教学内容：第八章 扫描电子显微分析 教学目标：了解扫描电镜的基本原理、构造和性能，掌握扫描电镜在材料研究中的应用，熟悉波谱仪和能谱仪的结构及工作原理，熟悉电子探针分析方法及微区成分分析技术。 重点：扫描电镜在材料研究中的应用 难点：波谱仪和能谱仪的结构及工作原理 方法：讲授、讨论、实例 准备：多媒体 过程：后附课件 材料近代分析测试方法 电子束与固体样品相互作用 扫描电镜结构原理 主要性能指标 二次电子图象衬度原理及其应用 背散射电子图象衬度原理及其应用 其它信号图象 扫描电镜操作 样品制备 主要优点：放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深大等 目前广泛应用于材料、生物等研究领域 扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子显微镜均不同，它不是以透镜放大成象，而是以类似电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成象，近年扫描电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功能仪器。 8.1 扫描电镜的基本原理、构造和性能 8.1.1 基本原理 德国的 Knoll 在1935 年首先提出了扫描电镜的工作原理；图8-1是扫描电镜的原理示意图。 8.1.2 扫描电镜结构 ④、上述两种枪两种都属于热发射电子枪,目前扫描电镜中大多使用热阴极电子枪。