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一个新颖的接口电路用于接地基于前馈电容式传感器主动屏蔽 Ferran Reverter1,2, Xiujun Li2 and Gerard C M Meijer2 摘要 本文提出并分析一种新型的电容式传感器接口电路，其中一个电极接地。新颖的设计使电荷平衡的张弛振荡器（到目前为止浮动电容式传感器应用），适合于测量接地电容式传感器和应用先进的测量技术，如自动校准砧板。此外，这些技术相结合，与前馈基于主动屏蔽，而不是通常的反馈为基础的，从而避免了不稳定的问题。一已实施分立元件和新颖的接口电路的原型测试传感器之间的27 pF和330 pF的电容和不同长度的互连电缆。非线性误差小于0.1％FSS的10米电缆。 关键词：传感器电子接口，电容式传感器，张弛振荡器，主动屏蔽（在这篇文章中的一些数字，颜色只有在电子版） 简介 电容式传感器在实验室越来越普遍和工业测量感压力，加速度，湿度，液位，距离，等等[1，2]。这种传感器可分为两组[3，4]：浮动电容传感器（电极既不是即传感器接地）和接地（即传感器的电容式传感器这两个电极之一是接地）。前者是可取的，因为他们可以读取接口电路本质免疫杂散电容[3，4]。然而，由于安全原因和/或经营的浮动限制电容式传感器，接地电极之一可能不可避免的，在某些应用中，例如：水平在接地的金属的导电液体的测量容器[2，5，6]或测量距离/接近接地的金属物体[7]。近年来，浮动电容接口电路传感器都发生了很大的进展，以致低成本可以轻松实现精确的电路CMOS IC技术[8-12]。这种电路适用许多先进的测量技术（如双端口测量，自动校准和砧板）以减少输出信息的不确定性。没有接地电容式传感器接口电路经历了同样的进步浮动电容传感器和几个备选方案可供选择。通常的接口电路是一个简单的RC振荡器，要么实施555定时器IC或模拟比较[2，7，13，14]。当传感器远程电子，这样一个RC振荡器适用于有源屏蔽技术（一般，反馈控制手段）互连屏蔽电缆[3]。然而，这样的设计解决方案，显示了稳定准确的权衡[14]。另一个有趣的接口电路适用于主动屏蔽接地电容式传感器基于前馈技术已在[15]虽然其性能不报，没有先进的测量技术的应用。修改后的桥电路接地电容式传感器用于测量[6]已提出，但问题有关主动屏蔽没有得到解决。本文提出了一种新颖的接口电路接地电容式传感器。设计新颖，适应已知测量技术（迄今浮动电容传感器）接地电容式传感器。此外，这种技术是结合前馈有源屏蔽。 图1。接地的电容式传感器的新颖的接口电路示意图 2.接口电路 2.1电路概述图1显示了一个新颖的简化原理图接口电路。接地电容式传感器（CX）通过屏蔽电缆连接到接口电路，这是由积极的屏蔽电路（解释在第2.3节）。多路复用器（三个模拟形成开关Sa，Sb和Sc）选择接地电容来衡量，它可以：传感器电容（CX），参考电容（Cref）或偏移（流浪）电容地（Coff）。选定的电容，然后连接。通过前端的电荷平衡弛张振荡器电路（2.2节中解释）。这种振荡器，已使用过的浮动电容式传感器[10，11]，是形成了由运算放大器（运算放大器作为配置）积分器，比较器，一个受控电流源（Ich）控制单元，后者产生的数字控制信号V1，VD1和φ。振荡器提供了一个信号，其期间（TX，Tref和Toff）是成正比的接地电容选择（CX + Coff，Cref + Coff和Coff，分别）。这种期间，然后由微控制器直接测量。下一步，以补偿偏移和增益误差， 自动校准技术应用计算以下的比例[10]： 从（1），传感器电容值可估计CX = MCref 2.2。前端电路接地电容式传感器的两个电极之一接地和，因此，只有一个电极为测量。因此，一个单端口测量必须执行，而不是通常的两端口应用测量浮动电容式传感器[10，11]。为了做到这一点，我们建议前端电路如图1所示。该电路只是一个开关2到1（Sd）和工作原理如下。最初，接地电容由多路复用器选择（从现在开始上，C）是连接到VD1的。如果VD1= 1，那么C是收取正电源电压（VDD），但是，如果VD1= 0“，然后C是对地放电。此后，C是连接到集成商，而且由于虚拟短路，在输入运算放大器，电荷Q= CVDD/2，是从C到反馈电容CINT（或从CINT到C，这取决于VD1的价值）。这将导致一个负（或正）积分器的输出电压步进（VINT）等于 不同的接地电容的电荷转移电路传感器在建议[3，15]，在图1的前端电路可转换传感器的信息，以积极和消极信号（方程（2））。这使得应用电路斩波技术[10，11]，其解释的好处2.3节。图2显示了前端的控制信号（?和VD1）电路，连同其他有关信号+ ?, + ?斩波顺序应用。这表明VINT电压步骤如何生成由C（方程（2））转换的时间间隔Ts的，我（= CVDD/（2|ICH