生产冷却水设备.PDFVIP

中華水電冷凍空調設備資訊網 .tw 無塵室設備技術概論 連載三 生產冷卻水設備 1.前言 響，考慮空調熱源冷水配管配合是必須的。此 無塵室是多用途設備其中之ㄧ，製造裝置 外，送水溫度以外的條件與32℃冷卻水一樣， 的除熱，生產冷卻水設備。 製造裝置背壓的限制條件場合大多採用開放槽 方式。 製造裝置的除熱量如圖 1 所示，室內放熱 50~60% ，冷卻水除熱30~40% ，排器放熱一般 為 10% ，近年來從節能的觀點而言，進行製造 3.品質、配置 裝置的水冷式，這樣的比例日漸提高。 (1) 溫度 生產冷卻水和製造裝置有直接的關連性， 20℃或是32℃ ，製造裝置的種類，根據製 穩定供給儘可能不要單方面提高性能，至於降 造商有所不同，應確認進行初期計劃的階段。 低設