基于低通滤波的相位掩模干涉图相位解调方法-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２３ ５ Ｖｏｌ．２３ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 ， ２０１１ ５ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｍａ ２０１１ 　 　 ｙ 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１１０５１１５３０５ 　 基于低通滤波的相位掩模干涉图相位解调方法 １ ２ ２ ２ １ １ 徐建程 ， 杜雅薇 ， 刘志超 ， 许 乔 ， 金洪震 ， 王 辉 　 　 　 　 　 　 　 （ 浙江师范大学 信息光学研究所，浙江 金华 ； 成都精密光学工程研究中心，成都 ） １． ３２１００４ ２． ６１００４１ 　 摘 要： 传统的四步相移算法在分析相位掩模干涉图时存在相移值误差、分辨力降低和相干噪声等不 　　 　 　 足，从而影响了动态干涉仪的性能。为了提高相位掩模干涉图的分析精度，提出了一种基于低通滤波的相位解 调方法。该方法根据相位掩模引入相位的空间频率远大于被测相位空间频率的最大值，采用低通滤波的方法 提取相位信息。数值分析结果表明，该方法的精度高于传统四步相移算法。分析干涉图的信噪比，合理选择低 通滤波器，可进一步提高相位解调的精度。 关键词： 干涉测量； 相位解调； 相位掩模干涉图； 低通滤波 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４３６．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ１１５３ 　　 　 　　　　 　 　　　 ［］ １ 大口径光学元件的精密检测一直是惯性约束聚变（ ）系统建造的关键问题 。大口径光学元件检测系 ＩＣＦ 　　 统光路长、重心高、配重不均匀，受机械振动和空气扰动等因素影响严重，这就要求检测系统采用动态高精度的 ［］ １ 检测方法。传统的时域相移法（ ）至少需要 幅干涉图，受环境振动影响大，不适合动态测量 。傅里叶分 ＰＳＩ ３