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光学浮区法生长掺锡氧化镓单晶及性能研究.pdf
第44卷第9期 人 工 晶 体 学 报 v01.44N。.9
2015年9月 JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALS September.2015
光学浮区法生长掺锡氧化镓单晶及性能研究
张小桃1”,谢建军1,夏长泰2,张晓欣1,肖海林2,赛青林2,户慧玲2
(1.上海大学材料科学与工程学院,上海200444;2,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)
摘要:作为垂直结构的GaN基LED新型衬底材料,p—Ga20,单晶已经引起了人们的广泛关注。B.Ga20,单晶的导
电性是通过掺杂来实现的,Sn4+掺人是其中一种很好提高3-Ga20,导电性的方法。利用光学浮区法生长了尺寸为
5×20
Gaz0,的电导率增加,样品的最高电导率为2.210
S/cm,同时sn4+的掺入会抑制13-G%0,的红绿光发射。
关键词:Sn:3-Ga:O,;浮区法;电导率;荧光光谱
中图分类号:078 文献标识码:A
Growthand of
PropertiesSn:15-Ga203SingleCrystalby
ZoneMethod
OpticalFloating
ZHANG
Xiao.tao”,XIE Xiao.xinl,魉0Hai.1in2,
Jian-junl,XIAChang.tai2,ZHANG
SAI
Qi昭.1in2,HUHui.1in92
ofMaterialsScienceand
(1.School Engineering,ShanghaiUniversity,Shanghai200444,China;
Instituteof andFine of
2.Shanghai Optics Mechanics,ChineseAcademySciences,Shanghai201800,China)
14March
(Received 2015)
anewsubstratematerialofverticalstructureGaN—based
Abstract:As crystal
LED,3-Ga203single
attractswide of is achieved Sn4+isa
attention.The
conductivityB—Ga203 bydoping.Dopinggood
methodto of with5×20
improveconductivityp—Ga203singlecrystal.10%Sn:p—Ga203single.crystal
mm2si’zewas the zone defect
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