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光学浮区法生长掺锡氧化镓单晶及性能研究.pdf

第44卷第9期 人 工 晶 体 学 报 v01.44N。.9 2015年9月 JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALS September.2015 光学浮区法生长掺锡氧化镓单晶及性能研究 张小桃1”,谢建军1,夏长泰2,张晓欣1,肖海林2,赛青林2,户慧玲2 (1.上海大学材料科学与工程学院,上海200444;2,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800) 摘要:作为垂直结构的GaN基LED新型衬底材料,p—Ga20,单晶已经引起了人们的广泛关注。B.Ga20,单晶的导 电性是通过掺杂来实现的,Sn4+掺人是其中一种很好提高3-Ga20,导电性的方法。利用光学浮区法生长了尺寸为 5×20 Gaz0,的电导率增加,样品的最高电导率为2.210 S/cm,同时sn4+的掺入会抑制13-G%0,的红绿光发射。 关键词:Sn:3-Ga:O,;浮区法;电导率;荧光光谱 中图分类号:078 文献标识码:A Growthand of PropertiesSn:15-Ga203SingleCrystalby ZoneMethod OpticalFloating ZHANG Xiao.tao”,XIE Xiao.xinl,魉0Hai.1in2, Jian-junl,XIAChang.tai2,ZHANG SAI Qi昭.1in2,HUHui.1in92 ofMaterialsScienceand (1.School Engineering,ShanghaiUniversity,Shanghai200444,China; Instituteof andFine of 2.Shanghai Optics Mechanics,ChineseAcademySciences,Shanghai201800,China) 14March (Received 2015) anewsubstratematerialofverticalstructureGaN—based Abstract:As crystal LED,3-Ga203single attractswide of is achieved Sn4+isa attention.The conductivityB—Ga203 bydoping.Dopinggood methodto of with5×20 improveconductivityp—Ga203singlecrystal.10%Sn:p—Ga203single.crystal mm2si’zewas the zone defect

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