电子工业静电防护指南RevB.pdf

电子工业静电防护指南电子工业静电防护指南 目录目录 第第1章静电基本概念章静电基本概念；； 第2章电子工业中的静电问题； 第3章静电防护原理； 第4章防静电工作区（EPA ）的构成和技术要求； 第5章EPA的防静电工艺与质量管理； 第第6章章EPA防静电系统的检验防静电系统的检验； 第7章静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 第1章静电基本概念 小节： 11.11静电的定义与不同类型的电静电的定义与不同类型的电； 1.2 静电的产生； 11.33 静电屏蔽静电屏蔽、导静电导静电、静电耗散静电耗散、静电绝缘材料的划分静电绝缘材料的划分；； 1.4 摩擦分离起电的极性排列与难起静电材料（抗静电材 料料）；）； 1.5 静电感应与静电屏蔽； 1.1静电的定义与不同类型的电 1. 静电的定义: 一种处于相对稳定状态的电荷. (1)ESD （Electro-Static discharge ）的意思是“静电释放”。 国际上习惯将用于静电防护的器材统称为国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESDESD，，中文名称为静电阻抗器中文名称为静电阻抗器;; 2.静电具有的特点: ①①.高电位高电位,小电量小电量,对地分布的电容小对地分布的电容小,泄放与放电时间短泄放与放电时间短; ②.受环境条件影响(湿度,40~60%) ； 33.不同类型的电不同类型的电：： 有以下3种类型： ①①.处于稳定状态不产处于稳定状态不产生流动的电荷称为静电流动的电荷称为静电；； ②.在导体中，电荷随着外施恒定不变的电场，做定向运动形成的电流称为直流电； ③.在导体中，电荷随着外施周期性方向变化的电场，做周期性方向变化的运动形成的电 流称为交流电。 4.几种常见的静电物理量纲及换算: 1.2 静电的产生 1.静电的产生: 固体起电，粉体起电（喷粉工艺），液体起电（喷油工艺） 2.固体起电产生： 摩擦分离,剥离,感应; 3.摩擦分离： 导电金属导电金属（中和）； 导体绝缘体，导体（电位低），绝缘体（电位高）-放电 绝缘体绝缘体,各点静电压不一样，静电很大； 剥离 1.3 静电防护材料的划分 11 导静电材料导静电材料:: 定义：带电体上的电荷能迅速耗散和泄漏的材料； 7 6 表面和体积电阻率分别小于：1X10 欧，1X10 欧.m ；(GB12158，防止静电事故通用导则); 22 .静电屏蔽材料静电屏蔽材料:: 定义：防止静电场通过或穿入的材料; 3 体积和表面电阻小于1X10 欧; （ANSI/ESD S541 ） 33 .静电耗散材料静电耗散材料; 定义:带电体上的电荷由于静电中和、泄漏、放电而使之部分或全部消失的现像的材料； 7 11 6 10 表面电阻率1X10 欧~ 1X10 欧，体积电阻率：1X10 ~1X10 欧 （GB12158，防止静电事故通用导则） 55 1111 体积和表面电阻体积和表面电阻1X10 ~1X10 欧欧；(IEC61340-5-1) 4 .静电绝缘材料； 定义定义:不能耗散和泄漏静电荷的材料不能耗散和泄漏静电荷的材料；； 表面和体积电阻率等于或大于：1X1011欧，1X1010欧.m ； 体积和表面电阻大于1X1011欧；(IEC61340-5-1); 总结总结：：常规下划分常规下划分 3 a. ＜1X 10 欧(静电屏蔽材料) 2 5 bb.1X101X10 ~ 1X1X 1010 欧欧((导静电材料导静电材料)) 5 11 c.1X 10 ~1X 10 欧(静电耗散材料) d. ＞1X 1011欧(静电绝缘材料) 1.5 摩擦分离起电的极性排列与难起静 电材料电材料 （（抗静电材料抗静电材料）；）； 1.6 静电感应与静电屏蔽