真空气相沉积炉说明书.pdf

真空气相沉积炉说明书 型号：ZT-76-22 制造商：上海晨华电炉有限公司 2013 年 6 月 一、设备特点 1.本设备为气相沉积功能+真空烧结设计，采用石墨碳管为发热体，碳毡为 保温层（厚度80mm，多层碳毡/石墨纸高温复合，真空环境热导率≤0.27W/m/K）。 2.二台2X-70真空泵，一套为工作，另一套备用，如一台损坏将不影响另一 台正常抽真空使用。 3.柜体为威图标准设计制造，侧部安装快速工业联接器，所有接线出厂前均 完成测试，可提高准确性和效率，供用户将来搬运设备方便。 4.采用高温钼管为热电偶保护管，提高热电偶使用温度及延长使用寿命。 5.电极高温绝缘采用氧化铝瓷件，氧化铝瓷件与电极之间衬有薄铜套，防止 氧化铝压碎。 6.在发热体内部配有一壁厚 10 的石墨筒，功能用于气相沉积过程反应气体 与发热体的分隔，保证气相沉积过程中石墨筒内恒温工作区不小于Φ260X320。 二、主要技术参数 1.设备型号： ZT-76-22 2.额定功率： 76KW 3.电源： 380V 三相 4.工作区尺寸： Φ260X320mm 5.加热器： 三相 6.最高工作温度： 2200℃ 7.冷态极限真空度： 20pa 8.压升率： ≤2pa/h 9.气氛介质： 氮气、氩气 10.控温方式： 热电偶+红外仪 三、结构说明 本电炉为立式真空炉，炉壳外层为优质碳钢，内层为 316L 不锈钢并经严格 抛光处理，两层之间用水冷却。炉身上设有一个观察窗，主要用于红外测温使用， 为防止污染，使用测温靶结构，可防止玻璃污染影响红外测温精度。炉底部设计 有一路抽气管路及炉侧的抽气口并用一套真空系统并分别配有真空阀门，用户可 选择上部或下部抽气。炉侧的真空抽气口位置靠上，口径的大小比较适当有利于 沉积抽排气。 炉盖打开方式为手动，手柄向上转动凸轮抬起炉盖，炉盖被提升 10~15mm 后，再向后侧旋转即可打开。炉盖上设有观察孔（中央）、排气口、压力传感器 及压力表等装置。 主加热电极设计在炉底，电极高温绝缘处采用氧化铝陶瓷件，瓷件内外衬纯 铜制成的铜套，防止锁紧电极时压碎瓷件。 测温采用二台仪表完成二种信号的切换。低温表可由钨铼热电偶测温，钨铼 热电偶采用钼管保护，高温表由国产中科院红外仪测温。 真空系统：烧结用真空系统主泵为贰台2X-70机械泵（配电磁压差阀，其中 壹台工作另壹台备用，真空管路上安装DN80手动挡板阀和DN80手动蝶阀等，并 配有 2 台灰尘过滤器装置。真空度测量由数显真空计执行,有关真空计的使用请 参照真空计使用说明书。注意:使用一段时间后，电阻规管会老化，其工作电流 需重新标定，标定方法主要为高真空校低真空法。即当实际真空度优于 10-1Pa -2 时，即用手动强制电离开，测得真空度小于 9.9×10 Pa时，低真空规管（电阻 -1 规管）的数值应指向 1×10 Pa，否则应调整其工作电流(调满度)。一旦调满结 5 束后，应再调零位，此时向系统放入大气，到达大气压时，低真空应指示1×10 Pa， 否则调整零位来实现。 电气系统：采用可控硅调压器调整，再经过大电流变压器降压后，经铜排送 到电极上，温度控制仪表采用美国霍尼维尔多段程序（最多达 16 段）数显控温 仪。电控回路设有断水、过流、热电偶红外仪转换失败时的声光报警和分类故障 指示功能。 水冷系统：冷却水由总管进入，经过各支管送到炉体、炉盖、炉底、电极、 机械泵等需要冷却的地方，然后汇总到总