定向凝固制备单晶硅.ppt

定向凝固技术制备多晶硅 定向凝固技术制备多晶硅 一 研究背景及意义 以下为常见的多晶硅材料及定向凝固技术制备图片 二 研究现状及制备原理 ⑴研究现状 能源(energy)、经济(economy)和环境(environment),被称为人类文明可持续发展所面临的三大课题。能源的短缺、环境的恶化成为了制约经济可持续发展的瓶颈因素。当传统的燃料能源一天天减少的时候,人们把目光投向了可再生能源,希望可再生能源能够改变人类的能源结构,维持长远的可持续发展。因此，多晶硅的需求量很大,因此研究高效率低成本的多晶硅的制备方法具有现实意义。如今生产多晶硅主要采用改良西门子法,但此法能耗大污染重,而且由于国外技术封锁,我国至今还未掌握核心技术。本研究的目的是发展具有自主知识产权的能耗污染相对小的冶金法制备太阳能级多晶硅新技术。定向凝固的方法直接由工业硅制得多晶硅锭,免去了高纯多晶硅的生产环节,环境污染轻,对外依赖性小。 ⑵制备原理 定向凝固法通常指的是在同一个坩埚中熔炼，利用杂质元素在固 相和液相中的分凝效应达到提纯的目的，同时通过单向热流控制，使坩 埚中的熔体达到一定温度梯度，从而获得沿生长方向整齐排列的柱状晶 组织。工业硅中还有多种金属杂质和非金属杂质，在硅熔体结晶过程中, 由于各种杂质在固相硅和液相硅中的溶解度具有很大的区别，我们可以 利用这个特性来对硅进行提纯，如图1所示，平衡分凝系数远远小于1的 杂质不断从固-液界面偏析到硅熔体中,形成杂质向熔体的输送和富集,反 之亦然。硅熔体全部结晶完毕,采用机械切除杂质浓度高的部分,获得提纯 多晶硅。定向凝固工艺是一种去除杂质非常有效的方法，整个过程中没 有利用任何化学反应，除了P、B、O和C等非金属杂质以外，大部分的 杂质通过两次的定向凝固精练以后都能够满足太阳能级硅的要求，但是 定向凝固工艺成本比较高，通过减少定向凝固的次数，能够大幅度的降 低多晶硅的生产成本。 如下图 多晶硅定向凝固工艺 传统定向凝固技术 带状多晶硅生长技术 SRG条带生长法 粉末硅片生长法 当代多晶硅定向凝固技术 连续松弛过冷法(SRS)工艺 根据控制硅熔体热流方向的不同，定向凝固法 主要分为热交换法(HEM)和布里奇曼(Bridgman)。 热交换法的基本原理是在坩埚底板上通以冷却水或气进行强制冷却，从而使熔体自上向下定向散热; 而布里奇曼法则是将坩埚以一定的速度移出热源区域，从而建立起定向凝固的条件。 目前,通过布里奇曼法可生产出横截面尺寸大于600mm×600mm、重量超过300kg的多晶硅锭，在实际生产中，大都采用热交换法与布里奇曼法相结合的技术。采用定向凝固法，可以通过控制垂直方向的温度梯度，使得固液界面尽量平直，有利于生长出取向性较好的柱状mc-Si晶锭，该方法目前被产业界广泛采用。 定向凝固技术制备多晶硅的优点： 定向凝固多晶硅铸锭所需原料来源广； 生产纯度要求较低； 而且生产效率高，在规模生产上较有优势; 同时多晶硅方片比单晶硅天然形成的圆片在组件中有更好的面积利用效率。 定向凝固技术制备多晶硅的缺点： 能耗大、产能较小。多晶硅生长速度慢，且坩埚只能用1次，生产成本较高。 在定向凝固过程中，由于分凝现象铸造多晶硅锭杂质浓度会随着硅锭高度的变化而变化，杂质的最高浓度分布在最后凝固的硅锭顶部和最先凝固的锭底部 在加热控温和铸型控制方面还不成熟 三 发展前景 定向凝固工艺成本比较高，通过减少定向凝固的次数，能够大幅度的降低太阳能级硅的生产成本； 获得并保持单向热流是定向凝固成功的重要保证； 提高生产效率和降低成本 如何利用定向凝固技术进一步改善多晶硅晶体生长、降低多晶硅中杂质的含量和优化晶粒取向仍然是以后多晶硅生产中急需解决的问题 四 结语 定向凝固技术在制备多晶硅材料中的应用十分多，由于定向凝固技术的应用,晶体生长不断改善、杂质含量不断降低，转化效率大幅度的提升，定向凝固技术在制备多晶硅中的应用前景越来越好。定向凝固技术虽然得到了很快的发展，但该制备工艺也同时存在如下问题：1)能耗大、产能较小，材料的利用率低。减少多晶硅生产成本的最关键的因素是降低铸锭中具有较低载流子寿命的部分占整个铸锭材料的比例，而解决这个问题的最好办法是减少凝固时间，结晶时间取决于固液界面处的温度梯度的增加;2)在加热控温和铸型控制方面还不成熟。进一步提高温度梯度和凝固速率,开发新的能精确控温和控制铸件形状的技术仍然是定向凝固技术发展的方向。 * * * A 研究背景及意义 B 研究现状及制备原理 C 发展前景 D 结语 目录 随着太阳能光伏产业在全球范围内的迅猛发展, 作为太阳能电池最基础的原材料高纯多晶硅, 在全球范围内严重短缺, 迫