大孔间距阳极氧化铝及其双层结构的研究与应用.pdf

摘 要 多孔阳极氧化铝 （Anodic Aluminum Oxide ，以下简称AAO ）膜，因其可控的纳米 阵列结构、稳定的制备工艺、低廉的生产成本而受到研究者的青睐。本文利用改性的电 解液制备大孔间距以及孔间距大范围可调的多孔AAO 膜，同时利用多孔AAO 膜内、外 层分别制备α-Al O 多孔膜和AlOOH 纳米柱以及纳米管阵列，并研究了大孔间距AAO 2 3 膜的湿度敏感特性。 根据阳极氧化电压与孔间距的线性关系，大孔间距 AAO 膜需通过施加高阳极氧化 电压制备得到，但是由于高氧化电压下难以控制电解液中参与导电的离子浓度，易导致 击穿现象的发生，所以目前稳定地制备高度有序大孔间距 AAO 膜依然存在困难。本文 在磷酸溶液中添加草酸铝作为缓冲剂，有效抑制了高氧化电压下击穿现象的发生，成功 制备了孔洞排列高度有序，孔径一致且孔间距达530 nm 的大孔间距AAO 膜。实验表明 大孔间距AAO 膜的有序度与阳极氧化电压、反应温度、电解液浓度等密切相关。 为了进一步拓宽多孔AAO 膜的孔间距调节范围，本文以0.3 M 草酸和1 wt % 磷酸 /0.01 M 草酸铝混合液为电解液，通过改变草酸体积百分含量，成功制备出了孔间距在 100 nm-500 nm 范围可调、孔洞排列高度有序的多孔AAO 膜。实验结果显示，最优阳极 氧化电压与临界氧化电压基本相等；草酸体积百分含量与最优阳极氧化电压呈线性关系； 孔间距随草酸体积百分含量减小而增大。理论分析表明，阳极氧化电流与电解液中酸根 离子的电离常数密切相关。由于磷酸根的二次电离常数远小于草酸根，因此随草酸体积 百分比减小，最优阳极氧化电压增大而稳态阳极氧化电流减小。 利用多孔AAO 膜制备具有抗腐蚀、耐高温性能的α-Al O 多孔膜一直是研究的热点， 2 3 但由于多孔 AAO 膜的双层结构，直接烧结会导致微观有序孔洞结构被破坏，宏观上产 生膜片卷曲、开裂的现象。为解决此问题，本文提出利用水热法对多孔AAO 膜进行晶 化预处理，以增强其内层六方骨架的抗腐蚀能力，再利用刻蚀液将外层成分彻底去除后 进行烧结的方法，制备得到了具有高度有序六方结构的纯 α-Al O 多孔膜。通过实验发 2 3 现晶化预处理温度与去除外层成分时间影响制备得到的 α-Al O 多孔膜形貌。此方法为 2 3 制备 α-Al O 多孔膜提供新思路，制备得到多孔膜能够应用于过滤、催化以及吸附等领 2 3 域。 AlOOH 纳米材料在催化、吸附、耐火材料中有广泛用途，并且研究表明微观形貌直 接影响其应用特性，故制备微观形貌可控的AlOOH 纳米材料成为近年来研究的重点。 I 为了控制生成AlOOH 纳米材料的微观形貌，多孔AAO 膜被用作原材料进行水热反应。 本文针对多孔AAO 膜水热过程，提出溶解-沉淀理论解释AlOOH 生长过程。基于此生 长机理，通过改变多孔AAO 膜外层成分含量以及控制反应温度实现对AlOOH 纳米材料 微观形貌的调控。获得的 AlOOH 纳米柱以及纳米管阵列能够提高其催化、吸附性能， 并拓展其在生物与纳米科学方面的应用。 多孔AAO 膜具有巨大的比表面积且易吸附水分子，是一种构造湿度传感器的理想材 料。本文结合溅射、光刻、电化学镀等半导体工艺，制备出基于大孔间距AAO 膜的单 通以及双通湿度传感器。分别研究器件结构、电极材料对传感器性能的影响。实验结果 表明单通湿度传感器中，全电极传感器的灵敏度优于叉指电极，并且通过扩孔能够进一 步提高其灵敏度。除此之外，采用双通结构能够有效提高器件的灵敏度和稳定性，并降 低阻抗便于实际应用。本文通过研究发现电极材料影响湿度传感器的性能：溅射金、铜 两种不同金属电极的双通湿度传感器表现出不同的感湿灵敏区域，金电极在高湿度区域 内(高于75% RH)灵敏度高，但在低湿区域内