大气压氦气介质阻挡放电时域非线性行为的研究.pdfVIP

Study on Time-Domain Nonlinear Behavior in Dielectric Barrier Discharge in Helium at Atmospheric Pressure A Dissertation Submitted for the Degree of Master Candidate：Wang Xiaoqing Supervisor：Prof. Li Licheng Associate Prof. Dai Dong South China University of Technology Guangzhou, China 摘要 大气压下通过介质阻挡放电产生低温非平衡等离子体的技术，已在材料改性、微 电子等领域中取得了突破性的进展。由于大气压介质阻挡放电 （DBD ：Dielectric Barrier Discharge ）不需要真空装置，可以方便地应用于工业化生产，因而已经成为 了等离子体物理领域中的研究热点。针对放电时域非线性现象的研究一定程度上将加 深对介质阻挡放电动力学机理的理解，进而为获得稳定的大气压介质阻挡放电提供重 要的理论依据。为了完善放电时域非线性行为的研究，本文从实验角度，结合理论分 析对大气压氦气介质阻挡放电中的多周期、混沌放电，不对称放电，迟滞现象进行了 研究，主要内容包括： （1）一定条件下，实验观察了多周期、混沌放电以及倍周期分岔、倒分岔现象， 并采用多种非线性诊断方法确定了放电的非线性性质。 （2 ）进行了不对称放电实验，研究了不对称放电的演化过程。分析了气隙、外 施电压对放电出现不对称的影响。从实验角度讨论了放电对称性的破裂与放电进入多 周期态或混沌态的关系。 （3 ）根据实验得到的放电伏安曲线，确认了迟滞效应在放电过程中的存在，并 比较了不同频率下迟滞环的形态。研究了伴随迟滞现象的多周期混沌放电、放电跳跃 现象及它们之间的关系。 关键词：介质阻挡放电；时域非线性行为；多周期；混沌；不对称放电；迟滞现象 I Abstract Non-equilibrium plasma can be generated through Dielectric-Barrier-Discharge(DBD) at atmospheric pressure. This manufacturing technique has made great progress in many fields such as material modification and micro-electronic. The atmospheric DBD operating without vacuum, can be used in industrial production efficiently. So it attracts plenty of attention in the plasma physical research field. Study on time-domain nonlinear behavior in the discharge will be of great help to make a better understanding of mechanism dynamic in DBD, providing significant theoretical basis for obtaining stable atmospheric DBD. To improve and supplement the existing research subject related to time-domain nonlinear behavior in atmospheric DBD, thi