ESD静电防护-Level 1.ppt

2.1 環境 地板 工作面 主要設備 清潔室 2.2 人 身體 衣服 製程 2.3 材料 原材料 生產輔助物 包裝材料 3.日常工作所產生的靜電強度  產線消除靜電損害的簡易程序: A..其它環境上應注意之接地: 1.治具上須加防靜電桌墊 2.推車加鐵鍊 3.貨架接地 4.防靜電 Tary 盤 B.工作面及主要設備的接地 C.人體的靜電排除 D.建立靜電保護的工作站 E.採用抗靜電材料運送及包裝產品 2.靜電環 將人體的靜電維持在０電位，可防止人體產生靜電放電。 (一般手環阻抗值103~104Ω、接地線106Ω) 3.靜電消除器: 不同靜電消除器因應使用埸合之不同而有不同之使用條件， 目前廠內使用之桌上型或檯燈型之離子吹風機，主要須注意 使用距離須大於 30cm。 4.導電性地板: 在易燃及易爆之環境下，使用導電性地板或地板覆蓋物，並將人體 及各個導體設備與地板連接，可以避免因靜電的持續累積導致危險。 這種地板之材料應使用較不會發生火花的物質，例如導電性橡膠、 鉛、以及其他導電性複合材料。此種地板1m間之電阻應小於1M? ， 而為保護遭受漏電電擊人員安全，同樣距離之電阻應大於25k?， 同樣的地板對大地之電阻亦應大於25k? 。 5.抗靜電箱 導電型抗靜電箱的阻抗為: 五.產線靜電管理與檢查: 1.導電性:103Ω~105Ω 在靜電對策中為最好之防護材料其特性為 (1)不產生靜電 (2)吸收靜電 (3)擴散靜電 (4)排除靜電於大氣中與空氣離子結合 2.擴散性:105Ω~109Ω 其特性為:(1)不產生靜電 (2)吸收靜電 (3)擴散靜電 3.抗靜性:109Ω~1011Ω 其特性為在磨擦之靜電產生量,低而無法排散,吸收靜電,對於2000V以上之靜電,無法達到良好之保護,而其使用之年限在一年以下。 4.絕緣性:1012Ω~1014Ω 其特性為 (1)產生高壓之靜電 (2)無法吸收靜電 (3)無法擴散靜電 (4)無法排除 靜電,而在靜電對策中,是禁止 被使用的材料。 靜電防護基礎知識 Level-1 ESD PROTECTION 序 言 “靜電放電”(Electro Static Discharge .ESD)已被認為是造成對靜電放電敏感電子零件的斷續、劣化、潛在和災變失效的主要凶手,而導致戰艦、飛機、發射和導引系統.電子和資訊設備的故障,使得如此昂貴的設備變得毫無可靠度可言。 目 錄 一.何謂靜電放電 二.靜電損害的消除與避免 三.常見的抗靜電材料及器材規格 四.生產現場防靜電操作規程 五.產線靜電管理與檢查 六.靜電的分級常識 一.何謂靜電放電 1.何謂靜電放電: 靜電的產生 靜電的產生主要來自於兩種不同物質的接觸及分離， 當兩種物質接觸在一起時，電子會從一邊移動至另一邊，當兩物質分離時，電子離開的一邊便帶正電，而接收電子的一邊帶負電。 。 + + + + + + + - - - - - - 走路時其實就會產生靜電 2.靜電源: 在工廠里,靜電源到處都有,特歸納如下: 撕偏光片保護產生靜電 包裝袋摩擦產生靜電 鎖螺絲的電動起子旋轉產生靜電 3000V 45000V 輸送帶 400V 6,000V 工作台操作員 1500V 18000V 將座椅墊摩擦 1000V 20000V 拿起塑膠袋 600V 7000V 拿走塑膠文件夾、袋 250V 12000V 走過塑膠地板 1500V 35000V 走過地毯 65~95%相對濕度 10~20%相對濕度 靜 電 強 度 活 動 情 形 二.產線靜電損害的消除與避免 106~109? 採用帶接地Pin的電源 人體通過靜電環接地 1.安裝離子風扇 2.人體接地 3.工作桌接地 4.設備接地 5.治具表面用抗靜電PVC保護 抗靜電箱放置產品 採用抗靜電袋包裝產品 三.常見的抗靜電材料及器材規格 1.靜電無塵衣 將人體的靜電透過無塵衣維持在０電位，便可防止人體產生 靜電放電。 連身無塵衣 CLASS １/10/100/1000級： 晶圓廠、LCD廠