MEMS技术作业 模板二.pptVIP

一、微能源概述 1、微型内燃机系统 2、微型旋转式发电机 3、微型振动式发电机 电磁式微型振动发电机： 静电式微型振动发电机： 压电式微型振动发电机： 各种微电源能量密度的比较 收集环境能的微电源类型比较 一、系统振动模型 悬臂粱截面图： 硅基压电悬臂粱示意图： 二、材料与尺寸分析 所用材料的力学特性： 三、悬臂梁应力分析 硅基微型压电悬臂粱结构设计: 晶圆上悬臂粱结构及总体布局: 压电薄膜的几种制作方法比较: 微加工工艺制作悬臂梁: Pt／Ti下电极的湿法腐蚀: 下电极图形： Pt／Ti上电极剥离过程： 上电极的图形： PZT硅基悬臂梁制作工艺流程： PZT悬臂粱的侧视SEM图： 谢谢！ * * * * * North University of China Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement 基于MEMS的微型振动式发电机系统的研究 第一阶段 知识的积累 微能源是MEMS技术发展最重要的方向之一，具有十分重要的理论意义和迫切的需求背景。 微能源大体上可分为微型电池和微型发电机两大类。微型电池的种类很多，包括微型燃料电池、微型化学电池、微型锂电池、微型热电池、微型太阳能电池、微型核电池。微型发电机系统主要有微型内燃发动机系统、微型旋转式发电机和微型振动式发电机系统。 微型涡轮叶片 微型内燃发动机 虽然微型内燃机有很高的能量密度,但是现有的制造工艺还不能制造高效稳定的微型内燃机，因此微型内燃机系统要达到实用化还有诸多问题亟待解决。 微型振动式发电机是利用电磁、静电、压电等效应，通过拾振装置将外部的机械振动转换成电能，可以应用于各种存在微振动的环境中。 微型振动式发电机以其体积小、能量密度大、寿命长以及具经济、安全与环保性的特点，成为了近年来各国研究的热点。根据其工作原理，微型振动式发电机主要分为电磁式、压电式和静电式等。 电磁式微型发电机的基本原理图 工作原理：外部电源或者驻极体的电场使可变电容器极板上产生感应电荷，通过振动改变可变电容的大小，使电荷在电容器上重新分布，从而实现将外部振动能转换为电能。 静电式发电机的示意图 如图所示的压电式微型振动发电机模型，从尖端加载的悬臂梁是一对由PZT 薄膜条做成的双压电晶片元件，当它在共振频率振动时，能产生约100μW功率。 第二阶段 结构设计与分析 压电悬臂梁振子是由PZT压电材料、金属电极、弹性材料三种材料粘贴在一起形成的复合体。 压电材料性能分析： 以硅作弹性层的压电悬臂粱部分共有四部分组成，分别是硅弹性层、自由端集中质量块、压电薄膜PZT和上下电极层。硅基压电悬臂粱结构中．梁的厚度只有8～159μm，压电薄膜层厚度约1μm，收集电荷的金属薄膜电极层厚度约为200nm／50nm。 应力分布情况 电压分布情况 臂槊长度与同有频率关系 臂粱童度与固有频率关系 悬臂粱厚度与固有频率关系 自由端质量与固有频率关系 第三阶段 工艺设计