辉光放电聚合物结构及力学性质研究摇.PDFVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援愿 渊圆园员员冤摇 园愿远愿园猿 辉光放电聚合物结构及力学性质研究摇 员冤覮 员冤圆冤 员冤 圆冤 圆冤 何智兵 摇 阳志林 摇 闫建成 摇 宋之敏 摇 卢铁城 员冤渊中国工程物理研究院激光聚变研究中心袁绵阳摇 远圆员怨园园冤 圆冤渊四川大学物理科学与技术学院袁成都摇 远员园园远缘冤 渊圆园员园年远月圆缘 日收到曰圆园员员年圆月员缘 日收到修改稿冤 摇 摇 采用低压等离子体聚合技术袁通过调整工作气压和反式二丁烯渊栽 月冤与 匀 流量比制备了辉光放电聚合物圆 圆 渊郧阅孕冤涂层援 利用傅里叶变换红外吸收光谱和元素分析法讨论了工作气压和栽圆月与匀 流量比对郧阅孕涂层内部匀圆 原子含量及结构的影响袁并且通过纳米压痕技术对 郧阅孕涂层的硬度及杨氏模量进行了表征援研究结果表明院降低 工作气压和栽圆月与匀 流量比袁郧阅孕涂层内泽责 悦匀 基团与匀原子含量随之逐渐降低袁泽责 悦匀 基团尧泽责 悦匀 基团圆 猿 猿 圆 圆 猿 圆 和泽责猿 悦匀基团含量随之增加袁涂层的网络结构交联化程度增强袁硬度和杨氏模量增大援 关键词院傅里叶变换红外光谱袁纳米压痕袁杨氏模量袁硬度 孕粤悦杂院远愿援远园援月泽袁苑猿援远员援粤贼 低压等离子体聚合技术在不同参数条件下制备了 员郾 引 言 郧阅孕涂层援采用纳米压痕仪表征了郧阅孕涂层的模量 耘 和硬度匀袁并结合傅里叶变换红外渊云栽陨砸冤光谱的 在惯性约束聚变渊陨悦云冤物理实验中需要使用高 信息和悦匀原子比分析了 郧阅孕涂层结构对涂层力 质量的塑料靶丸袁因此袁近圆园 年来相关的研究已成 学性能的影响援 这为制备满足陨悦云物理实验需求的 为一个热点援辉光放电聚合物渊郧阅孕冤涂层由于具备 靶丸烧蚀层和强度较大的 郧阅孕 聚合物涂层有重要 较低的原子序数尧热稳定性好尧表面粗糙度小等优 的指导意义援 异性能袁通常被选作为陨悦云物理实验用靶丸的烧蚀 层材料咱员要缘暂援在 陨悦云 物理实验过程中袁为降低瑞利鄄 圆郾 实 验 泰勒不稳定性袁需要提高 郧阅孕靶丸的表面光洁度 渊在涂层厚度员园园滋皂以上时袁功率谱高模数下均方 圆郾员郾 郧阅孕涂层的制备 根粗糙度不大于圆园灶皂冤尧壁厚均匀性渊高于怨怨豫冤援 为了某些物理实验需求袁还要求郧阅孕靶丸具备较高 摇 摇 实验利用低压等离子体增强化学气相沉积装 的耐压强度渊不低于 员园愿 咱远暂 置制备郧阅孕涂层袁装置如图 员所示援实验装置的真 孕葬冤等性能 援 随着我国 陨悦云研究的深入袁虽然已较系统地开展了对 郧阅孕薄 空系统由机械泵和分子泵组成袁等离子体发生室由 膜及较厚微球涂层渊约猿园滋皂冤的表面光洁度及壁 匝数可调的电感线圈与锥形石英管组成援 纯度为 厚均匀性的相关研究咱苑袁愿暂 袁但是目前对于 郧阅孕涂层 怨怨郾怨怨缘豫的反式二丁烯渊栽圆月冤和纯度为怨怨郾怨怨怨怨豫 制备技术研究尚存在诸多难点袁如微球表面突起产 的匀圆 的混合气体在员猿郾缘远酝匀扎射频源的触发下在 生的机理尧微球郧阅孕涂层的力学性能和热稳定性能 石英管内产生等离子体袁在直径为员猿皂皂尧高度为员 等援美国等国家在郧阅孕靶丸的制备技术及性能研究 皂皂溴化钾单晶和直径为员园皂皂尧高度为园郾猿皂皂单 方面已取得显著的进展咱怨暂 袁而国内对郧阅孕涂层力学