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光干涉法高精度材料线膨胀系数测量.pdf
第33卷第1期 计 量 学 报 V01．33．№1
2012年1月 ACTAMETROLOGICASINICA
jssn．1000-1158．2012．01．01
doi：10．3969／j
光干涉法高精度材料线膨胀系数测量
张旭东， 苏永昌， 叶孝佑
(中国计量科学研究院，、北京100013)
摘要：中国计量科学研究院研制的高精度材料线膨胀系数测量装置，满足温度范围为5～40℃、被测件长度在
20～1Ooo
mm之间的线膨胀系数测量。采用激光干涉法测量被测件长度变化量，用高精度温度传感器测量温度
值。设计了热平衡式干涉镜，利用空气折射率修正和零位误差补偿技术，保证在5～40℃变温范围内激光干涉仪
的测量精度。以500
mm标准量块作为测量对象，线膨胀系数测量结果与德国物理技术研究院(PTB)测量结果的
相对偏差为0．2％。材料线膨胀系数测量不确定度达到3×10“K～。
关键词：计量学；线膨胀系数；激光干涉测量；空气折射率；不确定度
中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000．1158(2012)01舢1J04
ThermaI COefficientMeasurementsw_th
ExpanSiOn
PreCiSiOnl nterferOmeter
ZHANG SU YE
Xu·dong， Yong—chang，Xiao—you
Instituteof
(National Metmlogy，Beljing100013，China)
the瑚al
Abstract：。IIhe measurementswithNIM’s inted’emmeteraredescribed．Themeasurements
expansion precision
of of
arebasedontlleobservationthe thematerial asa functionofa 1aser
chaJlge
len殍h s锄ples temperatureusing
Theinted．erometerandthematerial to1maresituatedina enclosurewhich is
inte—emmetry． sampleup tight temperature
controⅡedawatercirculationwithina f而m5℃to40℃．Aheat-balancedinterfbrencemin．0rwas
by temperaturemnge
isusedfor the 0ftIlematerial and
designed．AhighprecisiontemperaturemeasuIingsystem measuringtempemture sample
tlleair．Theaccumtedete珊inationoftllerefractiveindexofairandthereal—time ofzer0e珊
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