基于动态阿贝原则的高精度激光深孔孔径测量.pdfVIP

! # ·$ ! 第 15 卷 第 8 期 2004 年 8 月 Vol. 15 No. 8 Au . 2004 Journa1o O toe1ectronics Laser g f p 基于动态 阿贝原则 的高精度激光深孔孔径测量 ! 叶树 亮 谭 久彬 ( 哈尔滨 工业 大学 超 精 密光 电仪 器 工 程研 究 所 黑龙 江 哈尔滨 150001 摘 要 :基 于动 态 阿贝原 则 提 出 了激 光 深 孔 孔 径 测 量 原 理 设 计 了一 种 利 用 双频 激 光 干涉 技 术 的深 孔 孔 径 超精 密测 量 系统 该 系统将 双频 激 光 干涉测 长 技 术 与超 精 密 双 向 电容 位 移 传 感 器 瞄准 方 法 有 机 结 合 在 一起 通 过 电容 位 移 传 感 瞄准 ~ 测 长 光 路 和深 度 位 置 监 测 光 路 的合 理 设 计 保 证 了在 深 孔 任 意 截 面 对 孔 径 的测 量 都 符 合 阿贝原 则 分别 用 5 16 mm 6 种 环 规 对 系 统 进 行 验 证 实 验 表 明 该 系 统 可 实 现 ~ 深 孔 任 意截 面孔 径 的高精 度 测 量 测 量 分 辨 力 达 10 nm 不 确 定 度 达 0. 1 #m 关 键 词 :测 量 ; 高 精 度 ; 激 光 ; 深 孔 ; 孔 径 中图分 类 号 ! 文 献标 识码 ! 文章 编 号 ! ( TN247 A 1005-0086 2004 08-0971-04 Hi h Precision Laser Dee -hole Diameter Measurement Based on D namic g p y Abbe s Princi le p YE Shu-liang TAN Jiu-bin (Institute of Ultra Precision O tical Electronic Instrument En ineerin ~arbin Institute of Technolo-