基于哈特曼-夏克波前测量原理的焦距测量.pdfVIP

第40卷第6期 光子学 报 V01．40No．6 2011年6月 ACTAPHOToNICASINICA June201l 文章编号：1004—4213(2011)06-0912-4 基于哈特曼一夏克波前测量原理的焦距测量 吴佳杰，陈家璧，徐安成，高晓燕 (上海理工大学光电信息与计算机科学学院，上海200093) 摘 要：本文从哈特曼一夏克渡前测量原理出发，提出了基于渡前测量的透镜焦距测量方法；得到了 使用这一方法测量焦距的计算公式．使用633nm和780nm两种波长的半导体准直激光器作为光 源，测量了三片双合透镜的焦距，结果表明，633nm光源下测量得到的波长与透镜的设计焦距值相 吻合，能够正确测量透镜焦距；而780nm光源的测量结果显示出较大的相对测量偏差，但可用于 评估透镜的剩余球差、色差以及制造公差． 关键词：焦距；焦点；哈特曼一夏克；波前；色差 中图分类号：TN247；TP29文献标识码：A 0 引言 定焦点位置．因此，本文提出了基于哈特曼一夏克波 前测量原理的焦距测量方法，该方法具有客观、准 焦距是光学系统最重要的参量指标之一，在可 确、快速的特点，同时又易于搭建．通过改变测量光 见光范嗣内，常用的焦距测量方法有：放大率法、精 源的波长，该方法既能测量透镜在其设计波长下的 密测角法、阿贝焦距仪法等¨J．这些测量方法基于几 焦距，也能够评估透镜的色差，球差和制造公差对透 何光学测量原理，测量过程需要测量人员在光具座 镜实际焦距所带来的影响． 上逐项进行观测、记录、数据分析和计算结果，对测 量人员要求高，存在较大的由主观不确定性所引起 1 哈特曼一夏克波前测量原理 的误差【2]，并且测量范围主要限于可见光．从物理光 学的相关原理出发也能实现透镜焦距的测量，这类 想是把一个待测区域内完整波前划分为很多小区域 测量方法主要利用单缝衍射[3q3、莫尔偏折术[5]以及 叠加的形式，这个划分通过使用密排列的微透镜阵 Talbot效应[61]．单缝衍射法的测量准确度受限于 列加以实现．入射波前经过透镜阵列后在透镜阵列 对干涉条纹间距与宽度测量的精确度；莫尔偏折术 的焦平面上得到一系列的焦点Ll“．位于焦平面上的 以及Talbot效应法则通过测量莫尔条纹的倾斜角 CCD能够捕获光波前通过每一个微透镜后汇聚点 来间接测量焦距，这两种方法的测量误差主要来自 所在的位置．畸变的波前经过透镜阵列后，其汇聚点 于手动测量莫尔条纹倾斜角的不准确性¨]，因而两 相对于理想平面波垂直入射透镜阵列所形成的汇聚 者则更适合测量长焦透镜以减少测量误差[9]．在光 点(微透镜焦点)之间会产生一个偏移量(图1)． 学测量领域，往往对透镜的焦距、色差有着严格的要 Lenslet array ＼▲ 求，对于诸如人眼高阶像差测量系统u叫在内的以波 长为量级的精密光学测量系统而言，上述焦距测量 ， 、 f j 方法很难满足系统搭建与调试准确度要求Ll¨．而基 ，【 n