光栅参数测量技术研究进展-中国光学.PDF

第源卷摇 第圆期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援源摇 晕燥援圆 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员员年源月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 粤责则援圆园员员 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员员冤园圆鄄园员园猿鄄园愿 光栅参数测量技术研究进展 员袁圆 员 员 刘洪兴 袁张摇 巍 袁巩摇 岩 渊员援 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所袁吉林长春员猿园园猿猿曰 圆援 中国科学院研究生院袁北京 员园园园猿怨冤 摘要院光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准遥 本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟 的光栅参数测量技术进行了研究遥 重点介绍了原子力显微镜渊粤云酝冤测量法尧扫描电子显微镜渊杂耘酝冤测量法尧激光衍射 渊蕴阅冤测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展袁指出了这些方法各自的优缺点和适用范围遥 粤云酝测量法和 杂耘酝 测量法均可测得光栅的局部形貌信息袁可用于检测光栅表面形貌缺陷曰蕴阅测量法和散射测量术反映的是激光照射区域 的平均结果袁其中蕴阅测量法能得到光栅周期参数袁而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数遥 这些方法测得 的光栅参数结果比较吻合袁其中蕴阅测量法不确定度最小袁粤云酝次之袁杂耘酝最大遥 文章最后对未来光栅参数测量技术的 发展方向进行了论述遥 关摇 键摇 词院光栅曰光栅参数测量曰原子力显微镜曰扫描电子显微镜曰激光衍射仪曰椭偏仪 中图分类号院韵源猿远援员摇 摇 文献标识码院粤 孕则燥早则藻泽泽蚤灶早则葬贼蚤灶早责葬则葬皂藻贼藻则皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼贼藻糟澡灶燥造燥早赠 员袁圆 员 员 蕴陨哉匀燥灶早鄄曾蚤灶早 袁在匀粤晕郧宰藻蚤 袁郧韵晕郧再葬灶 渊员援杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣粤责责造蚤藻凿韵责贼蚤糟泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽 葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬曰 圆援郧则葬凿怎葬贼藻哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁月藻蚤躁蚤灶早 员园园园猿怨袁悦澡蚤灶葬冤 粤遭泽贼则葬糟贼院郧则葬贼蚤灶早责葬则葬皂藻贼藻则皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼贼藻糟澡灶燥造燥早赠蚤泽葬噪藻赠藻增葬造怎葬贼蚤燥灶糟则蚤贼藻则蚤燥灶燥枣早则葬贼蚤灶早枣葬遭则蚤糟葬贼蚤燥灶援 栽澡蚤泽 责葬责藻则蚤灶贼则燥凿怎糟藻泽泽藻增藻则葬造噪蚤灶凿泽燥枣早则葬贼蚤灶早皂藻葬泽怎则蚤灶早皂藻贼澡燥凿泽贼澡葬贼澡葬增藻遭藻藻灶则藻造葬贼蚤增藻皂葬贼怎则藻蚤灶责则藻泽藻灶贼援 陨贼枣燥糟怎鄄 泽藻泽燥灶贼澡藻粤贼燥皂蚤糟云燥则糟藻酝蚤糟则燥泽糟燥责赠渊粤云酝冤皂藻贼澡燥凿袁杂糟葬灶灶蚤灶早耘造藻糟贼则燥灶酝蚤糟则燥泽糟燥责赠渊杂耘酝冤袁蕴葬泽藻则阅蚤枣枣则葬糟贼蚤燥灶 渊蕴阅冤皂藻贼澡燥凿葬灶凿泽糟葬贼贼藻则蚤灶早皂藻葬泽怎则蚤灶早皂藻贼澡燥凿渊藻造造蚤责泽燥皂藻贼则赠冤袁葬灶凿凿藻泽糟则蚤遭藻泽贼澡藻蚤则憎燥则噪蚤灶早责则蚤灶糟蚤责造藻泽袁凿藻增藻造燥鄄 责蚤灶早贼则藻灶凿泽葬灶凿贼澡藻蚤则燥憎灶葬凿增葬灶贼葬早藻泽 葬灶凿凿蚤泽葬凿增葬灶贼葬早藻泽援 陨贼责燥蚤灶贼泽燥怎贼贼澡葬贼 贼澡藻粤云酝葬灶凿杂耘酝皂藻贼澡燥凿泽糟葬灶 皂藻葬泽怎则藻贼澡藻造燥糟葬造责则燥枣蚤造藻燥枣葬早则葬贼蚤灶早葬灶凿糟葬灶早藻贼蚤贼泽泽怎则枣葬糟藻责则燥枣蚤造藻凿藻枣藻糟贼援 栽澡藻蕴阅皂藻贼澡燥凿葬灶凿泽糟葬贼贼