激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ ７ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．７ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ ７ Ｊｕｌ．２００８ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８０７１２４１０６ 　 激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用 １ １ ２ １ １ 曾毅波 ，蒋书森 ，黄彩虹 ，张玉龙 ，张 艳 　 （ 厦门大学 萨本栋微机电研究中心，福建 厦门 ； １． ３６１００５ ２．华侨大学 信息科学与工程学院，福建 泉州 ３６２０２１） 摘要：研究了激光共焦扫描显微镜（ ）在微结构分析中的应用，综述了该项应用的优势。 的高分辨率和光强 ＬＳＣＭ ＬＳＣＭ 调节功能，使其可用于大角度测量；与图像处理系统相结合，便于微结构的定性和定量分析；而全自动样片台沿 轴和 犡 犢 轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明：运用 测量的斜面最大角度至少可以达到 ；在悬臂梁的 ＬＳＣＭ ５０° 形貌分析中，可获得清晰的三维形貌，同时通过二维定量分析精确测得其形变为 ；在 物镜下，运用拼接功 ３．１４５ ｍ １００× μ 能获得 ３８４ ｍ×２８８ ｍ的视场面积，解决了高放大倍数下，在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。 μ μ ＬＳＣＭ在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足，提升了微机电系统的测试水平。 关 键 词：激光共焦扫描显微镜；微机电系统；角度测量；形貌分析；图形拼接 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７４２．６４ Ａ 　　 犃 犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳犾犪狊犲狉狊犮犪狀狀犻狀 犮狅狀犳狅犮犪犾犿犻犮狉狅狊犮狅犲犻狀 狆狆 犵 狆 犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狊狋犲犿