能谱仪E和DS概述.pptVIP

电 子 探 针 分波谱仪WDS和 能谱仪EDS。 透射电镜或扫描电镜配电子探针可实现样品形貌分析与微区成分分析的有机结合。 EDS 元素分析范围 元素范围(Be窗)：钠Na11—铀Ｕ92。 ● 氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征X射线；锂产生的特征X射线波长太长，无法进行检测；Be的X射线产额非常低，Be窗口对Be到Ne之间元素的X射线吸收严重。 ● 现在的窗口材料可接收Be。 电子与物质相互作用 各种信息的发射深度 元素与特征X射线波长的关系 即EDS定性分析原理 √?＝ K(Z－σ) EDS定性速度快，但由于它能量分辨率低，谱峰往往重叠，必须正确判断才能获得正确的结果。用WDS和EDS联合分析，这样往往可以得到满意的结果。 X射线检出角 X射线检测方向与试样表面之间的夹角。采用高检出角减小了试样对X射线的吸收和试样表面粗糙所造成的影响。 试样要求 电子探针WDS分析需制备抛光的平试样，否则定量分析误差较大，而EDS分析可采用如颗粒、断口及不能破坏的零件等粗糙试样。虽然定量准确度较差，但许多情况下可以满足要求。 细粉末压片或块。 为了获得样品的“平均”定量结果，可使电子束扫描几个较大区域，并取不同区域的平均值。 标样要求 在微米区域内成分均匀，成分准确； 物理和化学性能稳定；