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第45卷第1期 四川大学学报(工程科学版) V01．45No．1
2013年1月 JOURNALOFSICHUAN SCIENCE Jan．2013
UNIVERSITY(ENGINEERINGEDITION)
文章编号：1009-3087(2013)01-0164-05
相位测量轮廓术中‘种快速的系统标定方法
肖焱山1’2，曹益平¨，武迎春1，刘效勇1
(1．四川大学光电科学系，四川成都610064；2．三峡大学理学院，湖北宜昌443002)
摘要：传统的系统标定和相位测量是分开进行的，所测量的是物体相对于参考面的高度。提出一种快速的系统
标定方法，用块规代替传统方法中由机械移动装置控制的标准平面，在块规表面采样标定点完成系统标定，实现系
统标定与待测物相位测量的同步进行；当待测物支撑面与参考面不重合时，依然能准确测量物体相对支撑面的高
度。对一高度为14．00mm的立方块测量的结果显示，当其支撑面相对参考面发生纵向移动或倾斜时平均相对误
差不高于1．35％，均方差小于0．15mill。该方法简化了标定过程，在实际应用中更具普适性。
关键词：相位测量轮廓术；相位高度映射；系统标定；3维面形测量；快速
中图分类号：TN206；0438．2 文献标志码：A
A CalibrationMethodforthePhase
Fast MeasuringProfilometry
XIAOYan—shan
1”，CAO Ying．chunl，LIUXiao-yon91
Yi-pingh，WU
Throe
(1．Dept．ofOptoelectronics，SiehuanUniv．，Chengdu610064，China；2．CollegeofSci．，ChinaGorges
fastcalibrationwas whichtwo blockswereusedto thestandardcontrolledthemechan-
Abstract：A proposed，in gauge replace plane by
to
ical devicein traditional fewerdatum were fromthesurfaceofthe blockscalibrate
sh瓶ng the calibration，andpoints sampled gauge
the this calibrationand measurementcanbe real of
method，both simultaneously．Theheight
system．With system phase implemented
the relativetothe Callbeobtainedwhenthe waftnot onthereference．Acuboid
object supportingplane supportingplane superposed
blockofnormal of14．00millwas measuredthismethod．ItsmeanrelativeelTorwasnomorethan1．35％and
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