世界上最纯的物质硅.PDFVIP

世界上最纯的物质：硅 硅，是人类在世界上提得最纯的物质，目前人类能够得 到的最纯的硅，纯度是 99.99999999999999%，估计读者们数 不过来，告诉您吧，是 16个9。 但是，纯硅虽然也有半导体的性质，却是一种没有什么 实际用处的半导体。真正要制作能够使用的半导体器件，包 括太阳能电池，就要在其中添加一些杂质，常见的是磷和硼。 也有镓、砷、铝和其它一些元素。 杂质的作用，总体上来说，是调节硅原子的能级，学过 半导体或固体物理的人知道，由于晶体结构的原因，固体中 的全部原子的各能级形成了能带，硅通常可以分为三个能 带，最上面是导带，中间是禁带，下面是价带。如果以火车 为比喻的话，那么，导带是火车，价带是站台，禁带则是站 台与火车之间的间隙。 如果所有的自由电子都在价带上，那么，这个固体就是 绝缘体,这就好比人站在站台上，是到不了别处的；如果所 有的自由电子都在导带上，那么这个固体就是导体，这就好 象人上了火车，可以周游全国了。 半导体的自由电子平时在价带上，但受到一些激发的时 候，如热、光照、电激发等，部分自由电子可以跑到导带上 去，显示出导电的性质，所以称为半导体。 硅就是这样一种半导体，但由于纯硅的导带和价带的距 离过大（也称为禁带过宽，），这就好像是就是站台离火车太 远，一般的人很难从站台跳到火车上去一样，通常只有很少 量的电子能够被从价带激发到导带上，所以纯硅的半导体性 质比较微弱，不能直接应用。 硅中的杂质 （一）：有用且必需的杂质 为了解决这个问题，科学家们想出了添加杂质的方法， 这些杂质在导带和禁带之间形成杂质能级，这些杂质能级要 么距离导带很近（如磷），是提供电子的，称为施主能级； 要么距离价带很近（如硼），是接受电子的，称为受主能级。 这样，一些很小的激发就可以使硅具有导电的性质。这就好 比在车站和站台之间，加一些垫脚的石凳，离站台近的，就 是受主能级，离火车近的，是施主能级。 能够提供施主能级或受主能级的杂质，分别称为施主杂 质和受主杂质，这些，当然是有用的杂质。 施主杂质的典型代表是磷，受主杂质的典型代表是硼。 这两种杂质之所以成为最常用的半导体杂质，我的看法是因 为它们在硅中的分凝系数是最接近于1 的，也就是说，在掺 杂后，拉单晶生长的时候，容易形成均匀的浓度分布。 而他们在硅中的分凝系数之所以能够最接近于 1，是因 为他们的性质与硅最接近。但也正是因为如此，导致了在物 理法提纯的过程中，硼和磷成为了最难去除的元素。 有用的杂质，其数量也有一个适中的范围，过小，效果 不明显，过多，使得导电性太强，不容易控制，反而成为废 物。通常，不同的半导体的应用对杂质的要求有不同的范围。 而对于太阳能电池应用来说，对应的电子或空穴的体密度， 应该在 1017 / CM3 左右，大家可以自己计算对应的杂质浓 度。 掺杂了受主杂质的硅成为P 型，常见的是掺硼的硅。掺 杂了施主杂质的硅称为N 型，常见的是掺磷的硅。对于太阳 能电池来说，P 型硅比较常见，因为前面所说的，硼的分凝 系数是0.8， 在单晶中，硼比较容易掺杂均匀的缘故。 太阳能电池要发电，就要有 PN 结，这样才能在光照的 情况下，形成正负极。对于 P 型半导体来说，N 型结，是通 过在硅片的表面通过扩散的工艺形成一层磷的薄层。 纯硅的杂质浓度与电阻率的关系 在半导体电子级的硅材料中，由于通常都是先将硅提纯 到很高的纯度，比如11N 或者10N左右，之后再进行掺杂， 所以，材料中的杂质比较单纯。例如，用来进行生产单晶硅 太阳能电池片的多晶硅材料，硅的纯度通常可以达到 9N 的 纯度，然后对硼掺杂到大约1ppma 的量级，而这时，其它的 杂质都会小于 1ppb，（除了 C、O、N 之外，为什么要除去这 三种，我在后面会交代）。 这种情况下，如果硼的杂质浓度有变化，比如万一掺杂 的比例弄错了，或者结晶的情况不理想导致各个部分有差 异，其实并不需要对单晶硅棒的各个部位进行取样也能知道 硼的浓度分布如何。方法很简单，就是测量电阻率的分布， 就可以知道各个部位的硼的含量了。因为，硼的浓度就代表 了载流子的浓度，直接与电导率呈正比关系，所以，在各个 部位的硼的浓度是与电阻率呈倒数关系的。 同样，对于纯粹的N 型半导体，用电阻率的分布，也可 以知道磷的浓度分布。 杂质补偿与 PN 转型 但是，如果是材料