微细电火花加工技术的最新进展及应用实例.PDFVIP

《电加工与模具》2003 年第 4 期 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　综述·专稿 微细电火花加工技术的最新进展及应用实例 于云霞 (胜利石油学校 ,山东东营 257000) 　　摘要 : 介绍了微细电火花加工技术的最新进展 ,并以一些最新的应用实例反映了该技术的发 展趋势和应用前景。 关键词 : 微细电火花加工 ;微细加工 ;微三维结构 ;微型机械 ;微型机器人 1 　微细电火花加工技术的发展 用反拷模块法加工微细电极 , 可稳定地加工 100μ m 的微细孔;采用超声电火花复合加工法 ,可 现代制造技术是一个国家发展经济的重要手段 加工直径数十微米的微细孔 ,加工效率也较高 ;南京 之一 ,而作为现代制造技术的一个重要分支 ,微机械 航空航天大学对微细电火花加工的研究起步较早 , 制造技术的开发与研究也受到经济发达国家的高度 μ 也较系统 ,首次在国内加工出 19 m 深径比为 31 ∶ 重视。如今国外的微细电火花加工已步入工业应用 1 的微细孔[1 ] 。清华大学应用 WED G 法可加工 阶段 ,微细电火花加工专用机床也应运而生 , 日本松 [2 ] 40μ ; 山东工业大学在微细电火花加 m 的孔和槽 下精机、瑞士夏米尔、阿奇、美国麦威廉斯等公司都 工电源方面也做了很多的研究工作 ; 哈尔滨工业大 有较成熟的产品 ,其中日本松下精机的产品能加工 学特种加工研究所也在这方面做了许多研究工作 , 5μ m 的微细孔 ,具有一定的代表性。 开发了 4 轴联动精微电火花加工机床 ,用该机床加 国内对微细电火花加工的研究 ,大都结合实际 工出了 40μ m 的微细轴 ,此外还研制了一台横轴 生产的需要 ,如喷油嘴的电火花小孔加工等。20 世 布局的微细电火花加工样机 , 该样机能加工出 纪 90 年代以来 , 国内对微细电火花加工技术的研究 [3 ]