金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能.pdfVIP

助 材 料 2012年第24期(43)卷 金属 Ag微 网格修饰 ITO薄膜的制备及光电性能 吴东奇，王文文，马 丁，李东亮，王 聪 (北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院，北京 100191) 摘 要 ： 利用聚苯 乙烯 (PS)微球模板技术和直流磁 后，而在光线进入太阳能电池之前 ，已经有一部分光在 控溅射技术在 ITO(InO。：Sn)薄膜表面进行 Ag的 电池表面薄膜的镜面反射 中损失掉了[6-1o3。微球模板 微 网格修饰 ，得到具有 良好周期性 的表面结构。研 究 技术是近几十年来才发展起来 的一种微纳米加工技 了PS微球直径和直流磁控溅射 Ag时间对 ITo薄膜 术 ，由于其相对经济、方便且实用，因此 已被广泛运用 表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影 到光学、微 电子学等领域 …【。 响。实验及分析证明，对 ITo表面进行 Ag微 网格修 本文利用聚苯 乙烯 (PS)模 板技术和直流磁控 溅 饰 ，当微球 直径为 2m，溅射 时间为 30s时，最大可提 射技术在 ITO薄膜表面进行 Ag的微网格修饰 。通过 高薄膜 的导 电性能 19．5 ，其漫反射性能可提 高 修饰改变薄膜表面的粗糙度 ，使之得到一个具有 良好 200 ，同时在可见光 区透过率的降低控制在 10 以 周期性 的表面 ，从而改善 ITO表面的光学性能 ，使光 下 ，这将有助 于提 高 ITo薄膜作 为太 阳能电池透 明电 能够在其表面发生多次反射 ，提高漫反射率 ，降低镜面 极 的陷光性 能 。 反射率。如 ITO薄膜作为太 阳能 电池 的透 明电极使 关键词 ： ITO薄膜 ；模板技术 ；直流磁控溅射 ；Ag微 用 ，这样可以提高太阳能电池对光的利用效率。同时， 网格 表面上连通 的Ag网格还会提高 ITo薄膜 的导 电性 中图分类号 ： ()4 文献标识码 ：A 能。 文章编号：1001-9731(2012)24—3402—04 2 实 验 1 引 言 2．1 金属 Ag微 网格修饰 ITO薄膜的制备 透明导电氧化物 (TCO)薄膜 具有可见光 区高透 本文参 照潘峰等n 的实验 ，首先合成 聚苯 乙烯 过、导 电性能好 、禁带宽度较大 (~3eV)以及在红外光 (PS)微球溶胶 ，然后在 ITO薄膜表面通过浸渍提拉法 区高反射等优 良的光电特性 ，已在太阳能 电池、液晶显 附着一层 PS微球 ，再对附有 PS微球的 ITO薄膜表面 示器 、热反射镜和建筑玻璃节能涂层等诸多领域获得 应用直流溅射镀膜技术镀制一层 Ag膜 ，最后通过溶 了广泛的研究与应用l1j。铟锡氧化物 (简称 ITO)是 剂洗去 聚苯 乙烯微球 ，形成金属 Ag微 网格修饰 的 Ino。掺 Sn的半导体材料 ，其薄膜由于具有优 良的导 ITO薄膜。由于 ITO薄膜玻璃已经成功商业化生产 ， 电性和光学性能，是 目前研究最为广泛的 TCO薄膜之 本文采用成熟 的 ITO薄膜 玻璃作 为实验原料 。图 1 [3， 一 。 为实验合成 PS微球扫描电镜 (SEM)照片。 由于常规 TCO薄膜表面对光的镜面反射作用较 强 ，减少了光线 的透过。若 TCO薄膜与吸收层的接触 面具有陷光结构，可