cxc_1124_制程能力分析.docVIP

製程能力 製程能力是指「各種條件均充份標準化，製程在統計的管制狀態下群體所呈現之質與量的能力」。故製程能力以產量、效率表示，也可用成品、半成品、零件等之品質特性來表示更可用不良率或缺點數來表示。 製程解析與製程管制 製程能力係數CP、K、CPK 符號意義 首先將一些符號代表意義標示如下: USL (上規格界限): upper specification limit LSL (下規格界限): lower specification limit m(規格中心): midpoint of the upper and the lower Specification limits， T (目標值): Target 指定雙邊規格時 (1)準確度k ，-1≦k≦1， (2)精密度Cp指標 (3)Cpk指標 Cpk指標主要是用以衡量製程之實際成效(process performance)，而Cpk製程能力指標定義如下：，或Cpk=(1-)Cp 指定單邊規格時 T (目標值): Target，如果沒有目標值時，則T=μ (1)準確度k ，或，(k有時以Ca符號代替，代表製程準確度) (2)精密度Cp指標 Cp指標定義為: ，或 (3) Cpk指標 Cpk = Cp(1-) ，或， 如果 如果則Cpk =0； 如果則Cpk =0 Ｃa評級表參考例 等級 值 處置原則 Ａ 作業員遵守作業標準操作,並達規格的要求,須繼續維持。 Ｂ 有必要時儘可能將其改進為A級。 Ｃ 作業員可能看錯規格不按作業標準操作,或檢討規格及作業標準。 Ｄ 應採取緊急措施,全面檢討所有可能影響的因素,必要時應停止生產。 Ｃp判定表參考例 等級 值 處置原則 A+ 產品變異如大一點不要緊﹐考慮管理簡單化及成本降低方法。 Ａ 繼續維持。 Ｂ 有必要時儘可能將其改進為A級。 Ｃ 產品須全數選別﹐並管理改善製程。 Ｄ 應採取緊急措施,重新檢討規格。探究原因進行品質改善。 如果是以-R Chart之資料來進行製程能力分析，則製程之標準差可由來估計。如果以-S Chart，則以來估計。 sigma與不良率之關係 Cpk=2，就是6 sigma 範圍內 機率 μ±1σ 68.27% μ±2σ 95.45% μ±3σ 99.73% μ±4σ 1-31.68ppm μ±5σ 1-0.287ppm μ±6σ 1-0.001ppm 例： 工程 (材料) 名稱 流 程 圖 作業標准書SOP 管 理 點 管 理 方 法 檢查方法 備考 原料工程 準備工程 本 工程 管理項目 產品特性 查檢項目 制程特性 管理指示書 管制圖 或其他 擔任者 對策 擔任者 抽樣 測定 3.阻抗值量測 ● GE under etch(PAD17) 阻值過低 X bar-R chart 技術員 課長 4 pc/chamber/shift RS meter OCAP Gate open(PAG99) 阻值過高  解決問題之步驟- QC-STORY 福特:8D 飛利浦:8大步驟 TASK-ORIENTATION PROBLEM SOLVING 6之DMAIC 各種改善模式 8D(福特提出) QC story(日本業界) MEDIC(飛利浦提出) DMAIC(6個SIGMA) D0 0. Become aware of problem 1. Theme selection M Map Measure D (D. 定義問題):D1. 主題選定 *問題發掘 *問題評估 D1 1. Use team approach 2. Reasons for selecting this theme D2 2. Describe Problem 3. Analysis of present situation M (M. 衡量問題) :D2. 問題定義 D3. 現狀分析與數據收集 D3 3. Implement verify Interim Containment Action D4 4. Define verify Root Cause 4. Analysis of cause effect E Explore Evaluation A (A.分析問題) :D4. 原因分析 *分析型的問題, 原因分析 *創意型的問題(目標型) D5 5. Choose verify P