教案直流辉光放电等离子体参数的测量及分析.pptVIP

直流辉光放电等离子体参数 的测量及分析 主 要 内 容 1.引 言 2.直流辉光放电等离子体的产生 3等离子体的诊断 4.结论 直流辉光放电就是将一个玻璃管密封，将气压抽至几十帕，在管子的两端加上高电压，玻璃管内气体被击穿，同时可以发现玻璃管内起辉,在不同的放电区，光强、电子温度不同。利用直流辉光放电现象原理制成的器件应用十分广泛，例如等离子显示器、等离子镀膜。直流辉光放电是等离子体的一个重要研究领域，为进一步提高它在各个领域的应用，科研工作人员在理论和实验两方面一直进行着不断的研究和工作。 1引 言 2 直流辉光放电等离子体的产生 辉光放电管两端加上直流高压电后，管子会产生辉光，适当调整放电电压和放电电流，管子会出现明暗相间的八个条纹，进而管子可以被分为八个区域。我们对正辉区最感兴趣,该区域光强均匀连续，空间静电荷密度接近于零，因此又叫正柱区或等离子区。在该区域，电子的浓度一般为1010/cm3～1012/cm3,具有很高的迁移率，导电性能接近良导体。在正辉区，电场强度恒定用以保持平衡状态。电势降落的大小与电离、消电离以及扩散有关。 3等离子体的诊断 等离子体参数的测量又叫等离子体诊断，等离子体诊断的方法有试探电极法、光谱线法、霍尔效应法等,其中试探电极法是等离子体诊断最常用和最方便的方法，试探电极法又称朗缪尔探极法，是在辉光放电管等离子体区置入一个金属导体，这个金属