溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究.pdfVIP

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2017-10-28 发布于北京
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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究.pdf

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第37卷第4期人工晶，体学报 v01．37N。．4 兰塑!生墨旦』Q型垦堕垒垦Q!兰!堕!旦垦旦￡堡垒!塑垒堕垒!型!!!兰塑墨溶胶-凝胶法制备Zno薄膜的特性研究肖宗湖，张萌，郭米艳 (南昌大学材料科学与工程学院，南昌330031) 摘要：采用鲥一gel法，在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的zn0薄膜。用热分析、解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭。znO薄膜的sol-gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成。在 Si(111)衬底和玻璃衬底上生长了zn0薄膜，都表现出明显的c轴择优取向生长。对比了不同涂覆层数对zn0薄膜结构及表面形貌的影响。znO薄膜的c轴择优取向生长特性随着涂覆层数的增加而减弱，这是由于zn0薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变所致。znO薄膜在可见光范围的透光率超过85％。关键词：zn0薄膜；溶胶．凝胶法；旋转涂覆技术；c轴取向中图分类号：0484 文献标识码：A Films onZincO】|【ideTllin IIlVestigation PreparedbySol-gelProgress xlAo zong—h，zHANGMeng，GUoMt—y吼 0fMat商a18scienceand (ScI啪1 Engincerillg，N蚰chaflg 33003l，China) Unive幅iIy，N帅ch锄g (moeft划19oc渤口20cr7，nco唧甜14如nm吖2008) oxidethinfilmswithc—axisorientationon and were Abstract：zinc Si(111)substrates dauss preparedby weI℃characterized diffractionandSEM． Sol—gelspincoatingtechnique，which byDSC／TGA，X-ray DSC／TGAresultsshowthatthe肌al ofthe are difkrentfrom precullsorswidely decompositionpmcesses thoseofzincacetate and ZnOthin壬ilms onSi dihydrate，moI眦thanol锄ipe2哪ethoxyethan01． grown bothshowobvious orientation．Theinfluenceofthicknessonthestructureand (1l1)andglass c—axis ofZnOthin surface ofZnOthinfilmswere c—a】【iso