原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
显微、测量、微细加工技术与设备
基于软刻蚀技术的微三维
结构加工方法研究
卢文娟1，张玉林1，孔祥东2郝惠娟1
(1．山东大学控制学院电子束研究所，济南250061；2．东营职业学院，山东东营257091)
摘要：软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术，弹性印章是
软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术，使用SDS一3型电子束曝光机，采用重复增量扫
描方式进行曝光，生成弹性印章的母版，将其硅烷化后用以制作弹性印章，再利用软刻蚀技
术可进行微图形的复制，得到微三维结构。显影后得到轮廓清晰的三雏结构，证明将电子束
重复增量扫描曝光方式与软刻蚀技术相结合可为制作微三维结构提供一种简单、有效的低成
皋逢径。
关键词：软刻蚀技术；弹性印章；重复增量扫描方式；电子束光刻；微三维加工
of3D Method
Study Micromachining
Soft
Basedon Lithography
LU
Wen-jnaill，ZHANGYu—linl，KONG
Xiang--don92，HAOHut-juanl
Engineering，Shandong
(1_Institute矿Elecm，nBeam，School矿Connd Univers毋．由啪250061，Ch／na；
2．Don目／ng
Vwwno／Co／／ege，加4盯瓣257091，China)
Abstract：Soft toasetof of and
hthography(SL)referstechnologiesfabricatingreplicating
structures elastomericandmolds．The of3D isstillareal
ufilifing templates
stamps preparation
universal beam
inSL newmethodtofabricate3D electron
challengetechnology．A templateusing
WaS an
exposed
Hthngraphy(EBL)systemsw∞introduced．Firstly，thephotoresist by overhpped
increment thedistinct3Dstructuresweroobtainedafter
scanningmanner，and development．it
callbe fabricate3D those3D
tllismethod usedto structuresa∞foHowod
proves templates．If
文档评论（0）