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半导体激光器后腔面高反射涂层的研究.PDF
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Study on structure of high reflecting coatings
for semiconductor laser rear facet
Article · Septe ber 2003
CITATION READS
1 10
5 authors, including:
Ming Qi Yong-gang Zhang
Chinese Acade y of Sciences Chinese Acade y of SciencesSIMITShanghai
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第 卷第 期 功能材料与器件学报
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年 月
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半导体激光器后腔面高反射涂层的研究
吴根柱，齐 鸣，叙安怀，张永刚，李爱珍
) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海 +
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（）
摘要：采用金属银 做为高反射镀膜材料， 介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 保护
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膜，在激光器后腔面实现了高反射涂层。经激光器光电特性测试表明，该高反射膜系能使激光器
输出功率提高E#I ，阈值电流减小’#I J (#I ，并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强
度，能有效保护半导体激光器后腔面。
关键词：后腔面 反射率 高反射膜 半导体激光器
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中图分类号! 61’K@ 文献标识码! 2
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