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生产部电池线： 题 库 1、清洗机盖板不能正常开、关 答：a、气缸被堵，需清理气缸； b、气动阀损坏，需修理； c、丝杆接触金属块断，需更换； d、感应器未得到感应，清理感应器或更换； e、盖板变形卡死； f、压缩空气压力不足； g、电气原因，检查开关盖信号是否传到PLC。 2、清洗机下料台发生压篮情况 答、a、花篮放偏，感应器感应不到，因对机械重新定位； b、 答：a、机械手定位偏移，重新对机械手定位； b、软件程序混乱出错，对程序复位； c、定位开关失灵； d、盖板不能及时打开； e、机械手脱钩。 4、机械手撞车 答：a、软件程序混乱出错，需复位程序； b、设计机械频率太高，超过PLC频率范围，降低机械手频率； 5、 PECVD抽不上真空 答：a、石英管破裂，需更换； b、密封圈破损或者有异物，用异丙醇清洗或者更换； c、锁紧头松动，更换； d、反应腔盖螺丝松动，需锁紧； e、真空泵故障。 6、等离子刻蚀辉光颜色呈红色 答：a、密封性差，检查密封圈等； b、b、a、a、必须是受主杂质或施主杂质； b、具有较低的扩散温度； c、具有适中的扩散速度； d、具有很高的纯度； e、不能和半导体发生化学反应。 30、有哪些原因会造成热氧化生长的二氧化硅的钠离子沾污？如何解决？ 答：氧化层中的钠离子沾污是造成器件漏电流增大、击穿特性变化、器件性能不稳定