X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用-激光与红外.PDF

第４４卷　 第１１期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．１１ 　 ２０１４年１１月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）１１１２１６０４ ·红外材料与器件 · Ｘ射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用 孙士文，隋淞印，何　力，周昌鹤，虞慧娴，徐　超 （中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，上海２０００８３） 摘　要：碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷，Ｘ射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研 究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式Ｘ射线衍射形貌术应用于碲锌镉 晶体质量的评价，研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工 状态对Ｘ射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的Ｘ射线衍射成像 及晶体质量筛选应用影响很大，积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度 密切相关。 关键词：Ｘ射线衍射形貌术；Ｘ光貌相；碲锌镉；晶体缺陷 中图分类号：ＴＮ２１３　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．１１．００８ ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ ｉｎｔｈｅＣｄＺｎＴｅｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｓ ＳＵＮＳｈｉｗｅｎ，ＳＵＩＳｏｎｇｙｉｎ，ＨＥＬｉ，ＺＨＯＵＣｈａｎｇｈｅ，ＹＵＨｕｉｘｉａｎ，ＸＵＣｈａｏ （ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｆｒａｒｅｄＩｍａｇｉｎｇＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＤｅｔｅｃｔｏｒｓｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００８３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＭａｎｙｋｉｎｄｓｏｆｔｙｐｉｃａｌｃｒｙｓｔａｌｄｅｆｅｃｔｓｃａｎｂｅｏｂｓｅｒｖｅｄｉｎｔｈｅＣａｄｍｉｕｍＺｉｎｃＴｅｌｌｕｒｉｄｅ（ＣｄＺｎＴｅ）ｓｉｎｇｌｅ ｃｒｙｓｔａｌｓＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｉｓａｐｏｗｅｒｆｕｌｍｅｔｈｏｄｆｏｒｔｈｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｆｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｉｎｔｅｇｒｉｔｙａｎｄｈｏｍｏｇｅｎｅｉｔｙ ｏｆｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｓＩｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｉｓａｐｐｌｉｅｄｔｏｅｖａｌｕａｔｅｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆＣｄＺｎＴｅ ｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｓＴｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｔｈｅｆａｃｔｏｒｓｏｆｉｎｃｉｄｅｎｔｂｅａｍｓｌｉｔ，ｅｘｐｏｓｕｒｅｔｉｍｅ，ｓｃａｎｎｉｎｇｓｔｅｐａｎｄｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓｏｎ ｔｈｅＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙａｒｅｓｔｕｄｉｅｄＲｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｉｎｃｉｄｅｎｔｂｅａｍｓｌｉｔｉｓｔｈｅｍｏｓｔｉｍｐｏｒｔａｎｔｆａｃｔｏｒｔｏ ｔｈｅＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｏｆｄｅｆｅｃｔｓ，ｗｈｉｃｈｉｓａｌｓｏｃｌｏｓｅｌｙｒｅｌａｔｅｄｔｏｔｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｓｃｒｅｅｎｉｎｇｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｂｙ ｃｒｙｓｔａｌｑｕａｌｉｔｙＴｈｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｅｘｐｏｓｕｒｅｔｉｍｅａｎｄｓｃａｎｎｉｎｇｓｔｅｐａｒｅｃｌｏｓｅｌｙｒｅｌａｔｅｄｔｏｔｈｅｉｎｃｉｄｅｎｔｂｅａｍｓｌｉｔ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｘｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ；Ｘｒａｙｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ；ＣｄＺｎＴｅ；ｃｒｙｓｔａｌｄｅｆｅｃｔｓ １　引　言 可直观地对大面积晶体材料的结构均匀性进行整