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X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用-激光与红外
第44卷 第11期 激 光 与 红 外 Vol.44,No.11
2014年11月 LASER & INFRARED November,2014
文章编号:10015078(2014)11121604 ·红外材料与器件 ·
X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用
孙士文,隋淞印,何 力,周昌鹤,虞慧娴,徐 超
(中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083)
摘 要:碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研
究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉
晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工
状态对X射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的X射线衍射成像
及晶体质量筛选应用影响很大,积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度
密切相关。
关键词:X射线衍射形貌术;X光貌相;碲锌镉;晶体缺陷
中图分类号:TN213 文献标识码:A DOI:10.3969/j.issn.10015078.2014.11.008
ApplicationofXraydiffractiontopography
intheCdZnTesinglecrystals
SUNShiwen,SUISongyin,HELi,ZHOUChanghe,YUHuixian,XUChao
(KeyLaboratoryofInfraredImagingMaterialsandDetectorsofChineseAcademyofSciences,Shanghai200083,China)
Abstract:ManykindsoftypicalcrystaldefectscanbeobservedintheCadmiumZincTelluride(CdZnTe)single
crystalsXraydiffractiontopographyisapowerfulmethodfortheinvestigationofstructuralintegrityandhomogeneity
ofsinglecrystalsInthispaper,reflectionXraydiffractiontopographyisappliedtoevaluatethequalityofCdZnTe
singlecrystalsTheeffectofthefactorsofincidentbeamslit,exposuretime,scanningstepandsurfaceroughnesson
theXraydiffractiontopographyarestudiedResultsshowthattheincidentbeamslitisthemostimportantfactorto
theXraydiffractiontopographyofdefects,whichisalsocloselyrelatedtotheapplicationofscreeningsubstratesby
crystalqualityTheparametersofexposuretimeandscanningsteparecloselyrelatedtotheincidentbeamslit
Keywords:Xraydiffractiontopography;Xraytopography;CdZnTe;crystaldefects
1 引 言 可直观地对大面积晶体材料的结构均匀性进行整
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