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第 卷 第 期 原 子 核 物 理 评 论 ,
26 2 Vol.26 No.2
年 月 ,
2009 6 NuclearPhsicsReview June 2009
y
文章编号: ( )
1007-4627200902-0154-04
改进的犛犐犔犃犚法制备犣狀犗薄膜及其表征
, ,
1 1 1 1 1 1 1 2 1 2
张 苓 ,刘 杰 ,侯明东 ,孙友梅 ,段敬来 ,姚会军 ,莫 丹 ,陈艳峰
( 中国科学院近代物理研究所,甘肃 兰州 ;
1 730000
2中国科学院研究生院,北京 100049)
摘 要:采用一种改进的液相成膜技术———连续离子层吸附与反应( )法,用锌氨络离
SILAR
2+
子[ ( )] 溶液作为独立的前驱体溶液,以载玻片为衬底,在( ) 的温度下沉积出
ZnNH3 4 125±5 ℃
致密、透明的 薄膜。分别用冷场发射型扫描电镜( )和 射线衍射( )分析了薄膜样
ZnO FESEM X XRD
品的表面形貌和结晶状态,用紫外 可见分光光度计( )研究了薄膜样品的发光
UVVissectrosco
p py
性能。结果表明:获得样品为六角纤锌矿结构的多晶薄膜材料沿[ ]方向择优生长;样品表面均
002
匀、致密,厚度约为550nm;在可见光波段具有高的透射率( 80%)。
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关 键 词: 法; ;薄膜;表征
SILAR ZnO
中图分类号:O484 文献标识码:A
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