软性阵列式触觉感测器应用于双足机器人之足部压力-先进工程学刊.pdfVIP

先進工程學刊第六卷 第四期 247 Journal of Advanced Engineering Vol. 6, No. 4, pp. 247-253 / October 2011 軟性陣列式觸覺感測器應用於雙足機器人之足部壓力感知 The Pressure Map of Foots for Biped Robot based on the Flexible Tactile Sensor Array *1 1 2 2 莊承鑫 劉一融 謝銘原 陳建升 *1 1 2 2 Cheng-Hsin Chuang , Yi-Rong Liou , Ming-Yuan Shieh , Jian-Shen Chen 摘要 目前雙足機器人於不平坦地形之運動控制不甚容易，需獲得外部特徵資訊， 方能修正姿態平衡控制。本研究開發3×5陣列式軟性觸覺感測器應用於人形機器 人之雙足，此感測器以創新之結構化電極概念並於外層包覆一彈性材料，建構出 具辨認動態正向力之壓力感測器，有別於一般壓阻式或電容式作為雙足機器人平 衡與步態控制研究之壓力感測器。本研究使用微機電製程設計製作微電極於軟性 電路板上，將以三明治結構方式結合壓電材料，並於此結構表面黏接以矽橡膠製 作完成之微結構，之後將聚雙甲基矽氧烷灌注封裝，以完成感測器之製作。欲驗 證此感測器之靈敏度，本實驗以激振器與力規作為動態週期性的微小力之觸發源 與力量校正，經實驗結果可測量出施加之正向力與輸出訊號於0.2 至9 牛頓呈一 線性上升趨勢，進而計算出本研究開發雙足機器人壓力感測器之靈敏度約為 41.96 mV/N 。3×5陣列式軟性觸覺感測器，安裝於人形機器人之雙足，經由電腦訊號模 組，將可即時顯示出動態變化時之壓力強度及壓力空間分佈形態，透過以上所獲 得之外部特徵資訊，將可進一步計算獲得零力矩點。未來將利用此壓力感知，以 即時修正雙足機器人之行進姿態。 關鍵詞 ：觸覺感測器，壓電薄膜，微結構，雙足機器人 Abstract Controlling the balance of motion in a context involving a biped robot navigating a rugged surface or a step is a difficult task. In the present study, a 3 by 5 flexible tactile sensor array was developed to assist in improving the acuity of a foot pressure map of a biped robot. We introduced an innovative concept involving structural electrodes