等离子体与固体表面相互作用原理教案.pptVIP

等离子体合成类金刚石薄膜 等离子体合成纳米管（丝） 为什么需要低介电常数的薄膜？ 正在从微电子学到纳米电子学转变，由此带来： ? 芯片上器件的密度增加 ? 器件的工作频率增加 低介电常数的薄膜 2、等离子体材料表面改性技术 传统的离子注入技术： Plasma source 引出系统 离子束 工件 “视线”型离子束改性技术：效率低，仅适用于简单表面形状的工件 等离子体 离子流 鞘层 等离子体源离子注入(PSII)示意图 特别适用于复杂工件（如齿轮）的表面改性 3、等离子体刻蚀技术 等离子体刻蚀技术的应用 (1)超大规模集成电路的制备 (2)微电机系统 (MEMS) 的制备 MEMS在汽车工业中的应用 MEMS在人体医学中的应用 刻蚀的工艺流程 沉积薄膜 涂光刻胶 暴光 刻蚀 去胶 等离子体辅助加工过程工艺 Plasma Etching feed gases absorption Reaction with Surface Diffusion of products from surface Subsequent surface reactions desorption Material removal E-Field ions Cathode RF Power Exhaust