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电子工厂压缩空气干燥和净化探析 　　摘要 目前，国内电子产业蓬勃发展，对设计人员的要求日益提高。在工程实践之中，暖通专业不但要主持采暖、通风与空调系统的设计，而且要负责各种气体供应系统的设计，其中，无油压缩空气供应系统的设计是重中之重。为了有助于压缩空气净化干燥系统的规范设计，本文简析了压缩空气净化干燥系统的设计与设备选型，提出了压缩空气净化干燥系统的典型工艺流程。 关键词 无油压缩空气；净化干燥系统；设备选型 中图分类号：TF803文献标识码： A 文章编号： 引言 随着中国国民经济的快速发展，人民生活水平日益提高，人们对电子产品的需求愈加迫切。电子产业应运而生，电子芯片，液晶显示器，手机电路板，电脑主板，硬盘存储及光伏太阳能电池等项目在我国各地纷纷开花。空气作为最廉价最普通且最易获得的气源，其应用十分广泛。大气的成分非常复杂，含有较多的水分、尘埃和微生物等杂质，经空气压缩机压缩后，其含量又显著提高，若未能及时除去这些杂质而将其直接供给生产使用，势必带来废品次品率大幅增加、气动设备不能正常运转、气动仪表不能正常工作及工艺设备故障率上升等一系列严重问题。因此，必须对压缩空气进行净化干燥处理，以满足生产工艺的要求，从而保障生产顺利进行。 在电子产业的建设过程中，无油压缩空气已是必不可少，其主要用于工艺中的提纯、吹扫、腐蚀、气动设备、气动仪表以及为给排水等相关专业提供必要的支持。同时，电子产品的更新换代极快，无油压缩空气用量日益扩大，质量等级迅速提高。因此，在设计阶段，必须对气源系统进行充分的考虑，选用适当的净化干燥设备，并合理的组织与配置净化干燥流程，从而使整个气源系统可靠，高效的运行，为生产提供优良的保障。 1电子工厂中压缩空气的特性和空气质量等级标准 1.1 压缩空气系统中的污染物 空气是一种混合气体，它是由氮气、氧气以及氮化物、硫化物、灰尘、粉尘、油(煤)烟和微生物等污染物粒子构成。同时，空气中还含有一定量的水蒸汽。 空气是可压缩流体，且压缩比较大。不管使用何种空气压缩机，在空气被吸入之前，已经含有一定数目的固态的、液态的和固液混合的污染物。以电子厂房中常用的0.7MPa的空气压缩系统为例，污染物与纯空气的相对数量变成了原来的7倍。并且，空气经压缩之后，在压缩机出口即已变为饱和空气。另外，如果采用了喷油的空气压缩机，空气压缩机本身也会产生大量的附加污染物，这些污染物主要有润滑油粒子，润滑油在压缩后的高温作用下，发生碳化后产生的粒子，以及活塞与气缸、螺杆之间和旋齿之间相互摩擦产生的金属与非金属粒子。 1.2 电子工厂中压缩空气的特性 在电子工厂中，由于其生产工艺的特殊性，其生产线所处的环境多为洁净度很高的洁净室。同时，其生产工艺也对压缩空气的品质提出了很高的要求，因此，电子工厂中使用的压缩空气均为质量等级很高的无油压缩空气。无论其采用的空气压缩机是何种形式，均为无油空气压缩机，并且多设置于的独立建筑物内(多为综合动力站)，与其他动力供应装置共同为生产主厂房提供保障。 无油润滑活塞式空气压缩机、无油螺杆式空气压缩机和无油离心式压缩机的压缩空气站的生产火灾危险性类别应为戊类外，其他均应为丁类。 1.3 压缩空气质量等级标准 国家标准和国际标准对压缩空气质量的分类标准体系，是根据压缩空气系统中存在的尘埃颗粒度、水分和油分三种主要污染物的残余含量，分别进行质量等级划分，详见下列表格： 表1 《一般用压缩空气质量等级》(GB/T13277-1991) 注：1. 粒子浓度、含油量是绝对压力0.1MPa、温度20℃、相对蒸汽压力0.6MPa条件下的数据。 2. 空气质量等级用3个阿拉伯数字表示。 3. 示例：等级4.6.5表示压缩空气中的固体粒子和浓度为4级，水气含量(压力露点)为6级，含油量为5级。 4. 上表中”—”表示未作规定。 表2 压缩空气质量等级国际标准(ISO8573.1) 2 压缩空气干燥与净化系统 2.1 无油压缩空气供应装置的典型流程 无油压缩空气不但广泛应用于电子产业，而且在建筑、机械、冶金、化工、石油、航空、航天、食品及生物医药等领域也相当重要。另外，各种射流装置、气动仪表和精密仪表等用气设备，对无油压缩空气亦提出了相当高的质量等级要求。无油压缩空气供应装置的典型流程如下图： 图1 无油压缩空气供应装置的典型流程 2.2 无油空气压缩机 空气压缩机是压缩空气供应系统中的核心设备，其性能的优劣直接关系到系统能否正常运行。空气压缩机根据其工作原理可分为容积式和速度式两大类。无油空气压缩机并不是完全不使用润滑油，其工作原理有两种，一种是使用润滑油的空气压缩