精密微定位平台的运动学仿真试验研究.pdfVIP

应用技术论坛 精密微定位平台的运动学仿真试验研究 段金妮湖南科技职业学院 湖南 长沙 410004 ［摘要］本文阐述了通过Adams和Matlab仿真实验研究三自由度精密微定位平台运动学特性的过程。首先 分析建立了动平台的空间平面方程，得到了微定位平台的运动学正逆解模型，并借助于Matlab直观显现 了微定位平台的空间姿态。然后在Pro/engineer中建立了微定位平台的三维实体模型，借由MECHANISM／ Pro接口模块，进一步在Adams中构造了微定位平台的虚拟样机模型，最后基于ADAMS／View和Matlab／ Simulink对微定位平台进行分别进行仿真实验，通过调整三个输入量间的偏置，最大限度地模拟微定位 平台运动的真实性，并将这两种仿真实验得到的数据进行了对比。结果表明，动平台处于中间位置时在 相应时刻具有最高的响应能力，x向和y向的转角最大分别为150μrad和128.5μrad。 ［关键词］微定位平台；运动学模型；仿真实验；虚拟样机；响应能力 由于超精密加工方法可以获得高几何精度和高表面质 由图2可得驱动点和测点的坐标分别为 量的工件表面，因而被广泛地加以利用。但传统机床运动 (rcosβi rsinβi Zpzti) 平稳性和结构刚性差，由机床零部件制造和装配时的几何 (rcosγi rsinγi Zsi) 误差、外界和机床内部热源引起的热变形误差均为主要误 式中βi为第i个压电陶瓷驱动器所在极径与x轴的夹角， 差，导致传统机床不能完全满足超精密加工的要求[1]。在 ；γi为第i个电容式位移传感器所在极径与x轴的夹角， ； 文献[2]中提到了一种新型的三自由度精密微定位平台的设 Zpzti为第i个压电陶瓷驱动器的垂向位移；Zsi为第i个电 计，其可作为精密加工机床的辅助定位平台，与机床原有 容式位移传感器的垂向位移；r为压电陶瓷驱动器所在圆 进给机构相结合，实现快速大行程进给和位置调整以及微 周的半径。 量进给和精密定位。本文拟就平台的运动学特性进行仿真 设动平台绕x轴的旋转角为θx，绕x轴的旋转角为θy则动 试验性研究。 平台由初始位置旋转θx后，P、D和E三点的坐标为（φ=0） 1 平台简介及位置正逆解模型 ( 0 r z0+rsinθx) (一r 0 z0) (r 0 z0) 再次旋转θy后，P、D和E三点的坐标更改为 ( 0 r z0+rsinθx) (－r 0 z0-rsinθy) (r 0 z0+rsinθy) 式中zo为动平台几何中心的垂向位移。 根据空间解析几何理论，在笛卡尔坐标系中P,D和E三 点可确定一个空间平面，且与p1、p2、p3三点确定的空间平